公开(公告)号：CN114293173B

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202111555171.7

申请日：2021-12-17

Applicant: 厦门钨业股份有限公司

Inventor： 颜彬游 ,  宋明星 ,  黄泽熙

IPC: C23C16/452 ,  C23C16/44 ,  C23C16/14 ,  C22B34/36 ,  C22B7/00

Abstract: 本发明涉及化学气相沉积技术领域，特别涉及一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，包括相连通的活化回收炉和沉积炉，活化回收炉内设有活化区及活化区周侧的尾气回收区；活化区的一端连接有第一进气管，活化区的另一端通过活化管路与沉积炉的进气端相连接；尾气回收区的一端分别与回收管路和第四进气管相连接，尾气回收区的另一端与尾气处理机构相连接，回收管路与沉积炉的排气端相连接；沉积炉内设有气体混合装置及沉积平台，气体混合装置分别与活化管路、第二进气管和第三进气管相连接；活化回收炉和沉积炉内均设有加热装置，在加热装置的作用下，所述活化回收炉内进行气体活化或尾气回收，所述沉积炉内进行沉积涂层，降低了反应成本和损耗。

公开(公告)号：CN114293173A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202111555171.7

申请日：2021-12-17

Applicant: 厦门钨业股份有限公司

Inventor： 颜彬游 ,  宋明星 ,  黄泽熙

IPC: C23C16/452 ,  C23C16/44 ,  C23C16/14 ,  C22B34/36 ,  C22B7/00

Abstract: 本发明涉及化学气相沉积技术领域，特别涉及一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，包括相连通的活化回收炉和沉积炉，活化回收炉内设有活化区及活化区周侧的尾气回收区；活化区的一端连接有第一进气管，活化区的另一端通过活化管路与沉积炉的进气端相连接；尾气回收区的一端分别与回收管路和第四进气管相连接，尾气回收区的另一端与尾气处理机构相连接，回收管路与沉积炉的排气端相连接；沉积炉内设有气体混合装置及沉积平台，气体混合装置分别与活化管路、第二进气管和第三进气管相连接；活化回收炉和沉积炉内均设有加热装置，在加热装置的作用下，所述活化回收炉内进行气体活化或尾气回收，所述沉积炉内进行沉积涂层，降低了反应成本和损耗。

公开(公告)号：CN111041317A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201911318588.4

申请日：2019-12-19

Applicant: 厦门钨业股份有限公司

Inventor： 李榕 ,  宋久鹏 ,  颜彬游 ,  宋明星

IPC: C22C27/04 ,  C22C30/00 ,  C22C1/05 ,  C22C1/10 ,  B22F9/26 ,  B22F9/04 ,  B22F3/04 ,  B22F3/10 ,  B22F3/24

Abstract: 本发明涉及合金材料的制备领域，特别涉及一种微纳复合增强钨合金材料及其制备方法。制备方法包括以下步骤：将含钨、铼和钼元素的原料进行固液掺杂或液液掺杂混合，再进行还原后，加入铪、碳混合物或碳化铪粉末，进行球磨混合，得到混合粉末；将混合粉末装入模具中进行冷等静压压制成形，成形后置于氢气气氛的中频炉中烧结；对烧结后的样品进行压力加工和热处理，即得到微纳复合增强钨合金材料。本发明提供的制备方法所制备的微纳复合增强钨合金材料与现有的技术相比，具有耐高温、耐蚀、较低密度的微纳复合增强钨合金材料，材料具有低的热膨胀系数、高的高温强度(1600-2200℃)、抗强力冲刷(4.5-7MPa)、抗热震、抗氧化及高韧性等有益效果。