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公开(公告)号：CN206421118U
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201720089340.5
申请日：2017-01-23
Applicant: 厦门福信光电集成有限公司 , 厦门大学
IPC: G02F1/13 , G02F1/1362
Abstract: 本实用新型公开了一种用于AOI检测的旋转校正平台，包括样品载台、与样品载台连接的安装台、与安装台连接的旋转驱动装置、安装在安装台上的直线驱动装置及由直线驱动装置驱动并伸出样品载台端面的定位块，本实用新型利用特定分布形态的定位块实现待检测样品在样品载台上的精确定位，利用样品载台形成的负压对待检测样品进行吸附，利用AOI设备的图像采集系统确定需旋转校正的角度，再由旋转驱动装置补偿角度，从而减少了在传统检测过程中的缺陷造成的系统误差及随机误差，也提高了产品的检测效率及检测过程中的检测精度。
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