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公开(公告)号:CN118645423A
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202410840212.4
申请日:2024-06-26
Applicant: 厦门理工学院
Abstract: 本发明属于半导体外延生长技术领域。本发明提供了一种氧化镓薄膜及其异质外延生长方法。本发明氧化镓薄膜的异质外延生长方法,包含如下步骤:将镓源水平置于反应温区,预处理后的衬底垂直置于沉积温区,通入氧源进行薄膜生长,然后对衬底上得到的氧化镓薄膜进行异位退火。本发明通过对衬底进行预处理,在氧化镓薄膜生长过程中形成台阶流生长模式,显著提高了氧化镓薄膜的结晶质量,有效避免薄膜中层错等结构缺陷的形成;通过分立温区,独立控制镓源和衬底的温度变化,实现了薄膜晶体质量和生长速率的高度统一,得到了生长速率高、生长均匀、平面光滑、高质量氧化镓薄膜。本发明的原料易得,价格低廉,设备简单,重复性和可靠性高。
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公开(公告)号:CN116115065A
公开(公告)日:2023-05-16
申请号:CN202211500275.2
申请日:2022-11-28
Applicant: 厦门理工学院
Abstract: 本发明公开了一种使用辐射伏特效应微电池作用为供能器件的智能茶具,属于茶具技术领域,包括茶具盒,且茶具盒内腔固定安装有电池主体。本发明中,通过设计的茶具盒,茶具盒能够通过卡扣结构与盒盖进行收纳,并且在打开茶具盒后,通过控制电动推杆工作伸长能够带动移动座移动,移动座移动能够带动连杆和收纳架向上移动,铰接座向上移动能够带动加热壶体向上移出展开在隔板顶部,将水液自加热壶体顶部开口倒入加热壶体内,并且通过控制电池主体给加热座供电进行加热,通过可收纳的收纳架实现对加热壶体的可收纳放置,减少茶具盒收纳后的集成度,并且加热壶体位于收纳架内能够保证茶具盒移动的稳定性。
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