一种增益激光等离子体光丝清洗方法与装置

    公开(公告)号:CN116550690A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310587529.7

    申请日:2023-05-23

    Abstract: 本发明涉及一种增益激光等离子体光丝清洗方法,用于清洗基体,所述方法包括步骤:沿平行基体表面的方向输出激光束;向密闭清洗仓内输送增益气体并加压,所述激光束穿过所述密闭清洗仓内的所述增益气体,从而形成对所述基体表面进行清洗的增益光丝。通过将激光束穿过充满增益气体并加压的密闭清洗仓,形成长度更长、光谱宽度更宽的增益光丝,并作用于待清洗的基体表面,实现更高效的清洁。

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