公开(公告)号：CN108802098B

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201810673293.8

申请日：2018-06-26

Applicant: 厦门大学

Inventor： 姚荣迁 ,  郑艺浓 ,  褚福临 ,  廖亮 ,  黄祖晴 ,  陈增 ,  钟磊 ,  韩宇宸

IPC: G01N25/20 ,  G01N25/18

Abstract: 一种连续碳化硅薄膜热导率的测量装置及其测量方法，涉及碳化硅薄膜热导率的测量。测量装置设有热源装置、电子式万能拉力试验机、温度测量装置和计算机。所述热源装置由信号源和高热导螺旋电阻丝组成。所述电子式万能拉力试验机带有样品夹持装置并可通过计算机的程序控制样品夹持装置的移动距离。所述温度测量装置设有非接触式红外测温仪探头和锁相放大器。所述计算机可控制电子式万能拉力试验机夹具的移动距离并能够处理锁相放大器采集到的信号，进行相应的数据分析。所述测量方法利用能够探测样品上各点热量信号与热源信号的相位差值，通过图像拟合和公式推导可计算得出薄膜材料热导率。

公开(公告)号：CN108802098A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810673293.8

申请日：2018-06-26

Applicant: 厦门大学

Inventor： 姚荣迁 ,  郑艺浓 ,  褚福临 ,  廖亮 ,  黄祖晴 ,  陈增 ,  钟磊 ,  韩宇宸

IPC: G01N25/20 ,  G01N25/18

Abstract: 一种连续碳化硅薄膜热导率的测量装置及其测量方法，涉及碳化硅薄膜热导率的测量。测量装置设有热源装置、电子式万能拉力试验机、温度测量装置和计算机。所述热源装置由信号源和高热导螺旋电阻丝组成。所述电子式万能拉力试验机带有样品夹持装置并可通过计算机的程序控制样品夹持装置的移动距离。所述温度测量装置设有非接触式红外测温仪探头和锁相放大器。所述计算机可控制电子式万能拉力试验机夹具的移动距离并能够处理锁相放大器采集到的信号，进行相应的数据分析。所述测量方法利用能够探测样品上各点热量信号与热源信号的相位差值，通过图像拟合和公式推导可计算得出薄膜材料热导率。