公开(公告)号：CN106849747A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201710110220.3

申请日：2017-02-28

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郭航 ,  韩瑞华 ,  周辉 ,  周赟磊

IPC: H02N2/14 ,  H02N2/16 ,  F04B43/04

CPC classification number: H02N2/142 ,  F04B43/046 ,  H02N2/16

Abstract: 一种MEMS压电超声泵，涉及压电超声泵。提供结构简单紧凑、体积微小型化、流量大、可靠性高、适用于微流控装置中的流体驱动、计算机CPU芯片与微器件及微系统的散热、生物医疗中的给药注射、航空航天中的测控等领域的一种MEMS压电超声泵。设有上硅片、下硅片、压电陶瓷片；所述上硅片和下硅片结构相同，上硅片和下硅片为圆环形，上硅片和下硅片上设有圆环形流道，上硅片和下硅片键合后形成MEMS压电超声泵的腔体；所述腔体设有入水口和出水口，压电陶瓷片贴合在下硅片上，相邻压电陶瓷片有间隔，且极化方向相反；在压电陶瓷片上下两面施加振幅相同、相位差为90°的高频交流电压。