一种基于折叠梁结构的硅基谐振式压力传感器

    公开(公告)号:CN118603367A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410655659.4

    申请日:2024-05-24

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种基于折叠梁结构的硅基谐振式压力传感器,涉及一种压力传感器。提供一种利于释放热膨胀的折叠式的谐振梁结构,该传感器采用静电激励压阻检测,包括压力膜层、感压层、谐振结构层及基座层,其中感压层与谐振器层采用硅材料制作,基座层由BF33硼硅玻璃制作;感压层由主要用于承受载荷压力,当承受载荷压力时,压力膜片产生变形,从而带动压力膜片上的硅岛产生位移,硅岛通过硅硅键合连接的硅岛盖板将横向位移传递至谐振器层,使谐振层上的谐振梁产生轴向内应力,谐振主梁的刚度发生改变,进而使谐振器谐振频率发生变化从而对压力进行表征,基座层作为封装层,用于形成高真空密封空腔。减少热膨胀带来的应力集中,保证传感器良好温度特性。

    一种通过选择性共价反应纯化1-甲氧基-2-丙醇的方法

    公开(公告)号:CN119350137A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411461686.4

    申请日:2024-10-18

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明涉及丙二醇单甲醚粗品提纯技术领域,具体涉及一种通过选择性共价反应纯化1‑甲氧基‑2‑丙醇的方法。方法包括:将亲核底物和待纯化丙二醇单甲醚粗品第一混合,得到第一溶液;将碱性物质和待纯化的丙二醇甲醚混品第二混合,得到第二溶液;将第二溶液加入第一溶液进行选择性共价反应后,对反应体系蒸馏,收集馏出物即目标产物;待纯化丙二醇单甲醚粗品中包含1‑甲氧基‑2‑丙醇和2‑甲氧基‑1‑丙醇。本发明利用2‑甲氧基‑1‑丙醇的pKa小于1‑甲氧基‑2‑丙醇,同时前者空间位阻比后者小;在亲核取代反应中前者的反应活性比后者高,易与亲核底物生成沸点更高的化合物,实现与1‑甲氧基‑2‑丙醇的分离提纯。

    晶体提纯装置及提纯方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117695701A

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202311715566.8

    申请日:2023-12-14

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种晶体提纯装置及提纯方法,涉及晶体提纯技术领域,包括结晶釜体、离心筒、驱动装置和加热单元,结晶釜体具有第一空腔和进料口和废液出口;离心筒设置在第一空腔内,离心筒具有顶部开口且离心筒侧壁上设置有多个排液孔;驱动装置的输出件延伸至第一空腔内并与离心筒固定连接,且驱动装置的输出件用于带动离心筒绕第一轴线转动;悬浮结晶的晶浆能从进料口并经顶部开口落入离心筒内,加热单元用于加热第一空腔内的气体使离心筒内的晶体发汗。通过将离心和发汗集成在一起,无需将晶体转移,避免晶体转移带来的污染和人工成本,且发汗后可继续利用离心筒将发汗液与晶体分离,提高产品纯度,提高工作效率。

    一种超声辅助熔融结晶制备电子级磷酸的方法

    公开(公告)号:CN117049501A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202311170744.3

    申请日:2023-09-12

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明属于结晶技术领域,具体涉及一种超声辅助熔融结晶制备电子级磷酸的方法。本发明基于磷酸与杂质离子在萃取剂中的分配系数差异,首先用C6~C12的酯类萃取磷酸,通过萃取预处理进行初步提纯,基于磷酸中组分凝固点差异,通过两次超声辅助熔融结晶,实现更高级别的纯化,通过结晶和晶体洗涤两个净化过程进一步分离杂质,制备得到电子级磷酸,其杂质离子含量均低于1ppm。本发明提供的方法产品纯度高,收率高,产品质量达到国际半导体协会SEMI标准G2/G3要求,操作条件温和,能耗低,易于工业放大,具有良好的工业应用前景。

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