公开(公告)号：CN114088254A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202111233818.4

申请日：2021-10-22

Applicant: 厦门大学 ,  厦门大学深圳研究院

Inventor： 吴德志 ,  曹聪 ,  陈卓 ,  徐振金

IPC: G01L1/00 ,  G01L5/00

Abstract: 灵敏度可调的高线性度柔性压力传感器及其制备方法，涉及柔性压力传感器。所述灵敏度可调的高线性度柔性压力传感器，从上至下依次设有上层柔性封装层、上电极层、敏感单元层、下电极层和下层柔性封装层；敏感单元层具有微结构面直接与上电极层接触，敏感单元层不具微结构面通过导电聚合物溶液与下电极层连接。微结构大小、数量和间距可根据实际应用需求设计，传感器在受到压力后敏感单元层微结构与电极接触面积线性增加，能够在一个压力范围内拥有高线性度，且灵敏度可通过改变数量密度和加热工艺等来按需调控。压力传感器结构简单、可控性强、制作方便、响应灵敏，适用于可穿戴电子、电子皮肤、人机交互等新兴领域。

公开(公告)号：CN114088254B

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202111233818.4

申请日：2021-10-22

Applicant: 厦门大学 ,  厦门大学深圳研究院

Inventor： 吴德志 ,  曹聪 ,  陈卓 ,  徐振金

IPC: G01L1/00 ,  G01L5/00

Abstract: 灵敏度可调的高线性度柔性压力传感器及其制备方法，涉及柔性压力传感器。所述灵敏度可调的高线性度柔性压力传感器，从上至下依次设有上层柔性封装层、上电极层、敏感单元层、下电极层和下层柔性封装层；敏感单元层具有微结构面直接与上电极层接触，敏感单元层不具微结构面通过导电聚合物溶液与下电极层连接。微结构大小、数量和间距可根据实际应用需求设计，传感器在受到压力后敏感单元层微结构与电极接触面积线性增加，能够在一个压力范围内拥有高线性度，且灵敏度可通过改变数量密度和加热工艺等来按需调控。压力传感器结构简单、可控性强、制作方便、响应灵敏，适用于可穿戴电子、电子皮肤、人机交互等新兴领域。

公开(公告)号：CN114370958A

公开(公告)日：2022-04-19

申请号：CN202210037881.9

申请日：2022-01-13

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吴德志 ,  程显舒 ,  陈卓 ,  朱彬 ,  吴益根 ,  王中宝

IPC: G01L1/14

Abstract: 一种高性能电容式柔性压力传感器及其制备方法，涉及柔性压力传感器。从上至下依次包括：上屏蔽层、上层柔性封装层、上电极层、复合纳米纤维薄膜介电层、下电极层、辅助电极、下层柔性封装层和下屏蔽层；复合纳米纤维薄膜介电层带图案化纤维微结构阵列和图案化低弹性模量微结构阵列；上屏蔽层设于上层柔性封装层上方；上电极层设于柔性封装层下方并共形贴附在一起；下电极层和辅助电极设于下层柔性封装层上；下屏蔽层设于下层柔性封装层下方；复合纳米纤维薄膜介电层设于上电极层与下电极层之间，设有纳米纤维的图案化微结构阵列和低弹性模量微结构阵列，提升传感器的量程、线性度和灵敏度等性能。适用于可穿戴电子、人机交互、飞机蒙皮等。

公开(公告)号：CN114370958B

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202210037881.9

申请日：2022-01-13

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吴德志 ,  程显舒 ,  陈卓 ,  朱彬 ,  吴益根 ,  王中宝

IPC: G01L1/14

Abstract: 一种高性能电容式柔性压力传感器及其制备方法，涉及柔性压力传感器。从上至下依次包括：上屏蔽层、上层柔性封装层、上电极层、复合纳米纤维薄膜介电层、下电极层、辅助电极、下层柔性封装层和下屏蔽层；复合纳米纤维薄膜介电层带图案化纤维微结构阵列和图案化低弹性模量微结构阵列；上屏蔽层设于上层柔性封装层上方；上电极层设于柔性封装层下方并共形贴附在一起；下电极层和辅助电极设于下层柔性封装层上；下屏蔽层设于下层柔性封装层下方；复合纳米纤维薄膜介电层设于上电极层与下电极层之间，设有纳米纤维的图案化微结构阵列和低弹性模量微结构阵列，提升传感器的量程、线性度和灵敏度等性能。适用于可穿戴电子、人机交互、飞机蒙皮等。

公开(公告)号：CN113959603A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202111174915.0

申请日：2021-10-09

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吴德志 ,  陈卓 ,  吴益根 ,  王中宝 ,  张扬

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/12

Abstract: 一种柔性电容式压力传感器及其制造方法，属于柔性压力传感器领域。柔性电容式压力传感器从上至下依次设有封装层、第一电极层、离子型介电层、第二电极层和柔性基底；第一电极层和第二电极层中至少一个的电极表面为多级结构。多级结构可通过激光烧蚀/微纳加工多级结构模具倒模制备，或通过激光加工/丝网印刷/3D打印等方法直接制备。当外力施加在传感器表面时，电极表面不同级和不同尺度的凸起结构具有高可压缩性和高比表面积，与离子型介电层的接触面积以及形成的双电层电容能在超宽压力范围内发生显著变化，具有宽量程、高灵敏度和高分辨率等特征。该压力传感器可在机器人、可穿戴设备、航空航天、海洋探测等领域应用。

公开(公告)号：CN216284043U

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202122551837.3

申请日：2021-10-22

Applicant: 厦门大学 ,  厦门大学深圳研究院

Inventor： 吴德志 ,  曹聪 ,  陈卓 ,  徐振金

IPC: G01L5/00

Abstract: 一种灵敏度可调的高线性度柔性压力传感器，涉及柔性压力传感器。所述灵敏度可调的高线性度柔性压力传感器，从上至下依次设有上层柔性封装层、上电极层、敏感单元层、下电极层和下层柔性封装层；敏感单元层具有微结构面直接与上电极层接触，敏感单元层不具微结构面通过导电聚合物溶液与下电极层连接。微结构大小、数量和间距可根据实际应用需求设计，传感器在受到压力后敏感单元层微结构与电极接触面积线性增加，能够在一个压力范围内拥有高线性度，且灵敏度可通过改变数量密度和加热工艺等来按需调控。压力传感器结构简单、可控性强、制作方便、响应灵敏，适用于可穿戴电子、电子皮肤、人机交互等新兴领域。