一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器

    公开(公告)号:CN104535228B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201510043292.1

    申请日:2015-01-28

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器,涉及一种压力传感器。设有上基板和下基板,上基板下表面设有上凹槽,下基板上表面设有下凹槽,上凹槽与下凹槽之间形成空腔;在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层,所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板,可变电容上极板位于平面电感线圈中间,固定电容上极板位于平面电感线圈外部;所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接,平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接;所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线。制备工艺简单,密封性能好,生产成本低。

    安培力驱动的S型流道焊料喷射头

    公开(公告)号:CN104190570B

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201410443015.5

    申请日:2014-09-02

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 安培力驱动的S型流道焊料喷射头,涉及一种焊料微熔滴喷射装置。设有基体、喷嘴、加热室、加热圈、导电膜、压力传感器、泄气管和电磁阀;基体设有S型弯折状的流道,流道壁面上镀有导电膜,导电膜作为电极,基体设有电极导线引出孔,导电膜与外部电连接,喷嘴设于基体底部,喷嘴与所述流道的底端连通,加热室设于基体上方,加热室上端设有盖板,加热圈设于加热室的外围,压力传感器设于盖板上,泄气管设于盖板上,泄气管设有泄气孔,泄气管通过电磁阀与外部气源连通。可增大熔融焊料所受安培力,同时增大熔融焊料的加速距离,更容易实现喷射。

    安培力驱动的S型流道焊料喷射头

    公开(公告)号:CN104190570A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410443015.5

    申请日:2014-09-02

    Applicant: 厦门大学

    CPC classification number: B05B9/002 B05B9/03 B23K3/047 B23K3/0623

    Abstract: 安培力驱动的S型流道焊料喷射头,涉及一种焊料微熔滴喷射装置。设有基体、喷嘴、加热室、加热圈、导电膜、压力传感器、泄气管和电磁阀;基体设有S型弯折状的流道,流道壁面上镀有导电膜,导电膜作为电极,基体设有电极导线引出孔,导电膜与外部电连接,喷嘴设于基体底部,喷嘴与所述流道的底端连通,加热室设于基体上方,加热室上端设有盖板,加热圈设于加热室的外围,压力传感器设于盖板上,泄气管设于盖板上,泄气管设有泄气孔,泄气管通过电磁阀与外部气源连通。可增大熔融焊料所受安培力,同时增大熔融焊料的加速距离,更容易实现喷射。

    一种内嵌式高温无线压力传感器

    公开(公告)号:CN103926026A

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201410182582.X

    申请日:2014-05-04

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种内嵌式高温无线压力传感器,涉及一种压力传感器。设有压力敏感膜、传感器上盖板、电容上下极板、电感线圈、传感器基座与压力参考腔;传感器上盖板上开有方形槽,构成压力敏感膜,传感器上盖板背面制作有电容上极板;传感器基座上开有回形槽,电容下极板与电感线圈制作在传感器基座上,电容下极板上表面与电感线圈上表面平齐,而电感线圈制作在回形槽中;电容上极板、电容下极板与电感线圈均由掺杂金属的硅制作而成,电容上极板与电容下极板构成平行板电容器,电容上极板与电感线圈上分别引出上下层导线,传感器上盖板与传感器基座键合,上下层导线紧密接触,使得电容上极板、电感线圈与电容下极板串联构成标准RLC回路并形成压力参考腔。

    一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器

    公开(公告)号:CN104535228A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201510043292.1

    申请日:2015-01-28

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器,涉及一种压力传感器。设有上基板和下基板,上基板下表面设有上凹槽,下基板上表面设有下凹槽,上凹槽与下凹槽之间形成空腔;在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层,所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板,可变电容上极板位于平面电感线圈中间,固定电容上极板位于平面电感线圈外部;所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接,平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接;所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线。制备工艺简单,密封性能好,生产成本低。

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