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公开(公告)号：CN118659753A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410798454.1
申请日：2024-06-20
Applicant: 厦门大学
IPC: H03H3/02
Abstract: 本发明公开了一种三分层石英压力敏感器件键合治具及其应用，该键合治具包括石英谐振片置放工装、通过直杆对称布置在石英谐振片置放工装的上下两侧的两石英端帽夹持工装以及套设在直杆上的若干组层间弹簧，若干组层间弹簧布置在所述的石英端帽夹持工装与石英谐振片置放工装之间；石英端帽夹持工装包括两端帽夹持块，两端帽夹持块水平可调式对接，形成与石英端帽适配的端帽夹持腔；石英谐振片置放工装包括两谐振片夹持块，两谐振片夹持块水平可调式对接，形成与谐振片适配的谐振片腔；端帽夹持腔与谐振片腔的中心点在同一竖直直线上。本发明实现了对压力敏感芯体的高质量键合，提高石英谐振器的品质因数，从而制备出高精度的石英谐振式压力传感器。
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