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发明公开
一种基于超磁致伸缩材料的微流泵及其制作方法审中-实审

公开(公告)号：CN116624365A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310490476.7

申请日：2023-05-04

Applicant: 厦门大学

Inventor： 蒋辉煌 , 郭东辉 , 贺珊

IPC: F04B43/04 , H02N2/00 , C23C16/34 , C23C16/56 , H10N35/01 , H10N35/85 , F04B53/10

Abstract: 本发明公开了一种基于超磁致伸缩材料的微流泵，所述微流泵为线圈内置式，所述微流泵包括中空的泵体，所述泵体的顶部设有膜片，在所述泵体的内腔中设有金属线圈，所述金属线圈外部包裹有保护层，所述金属线圈的中部连接有超磁致伸缩棒，所述超磁致伸缩棒与所述膜片相抵靠，所述泵体的底部设有铝电极，所述铝电极与所述金属线圈形成电连接，所述泵体的底部还分别设有入口单向阀和出口单向阀；此外，本发明还提供了该微流泵的制作方法。本发明的微流泵具有响应频率高且利于精确控制流量的优点。

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