公开(公告)号：CN106595722B

公开(公告)日：2019-01-22

申请号：CN201611201764.2

申请日：2016-12-22

Applicant: 厦门大学

Inventor： 雷鹰 ,  刘丽君 ,  聂泳忠

IPC: G01D5/24

Abstract: 本发明涉及一种低频负刚度电容传感器，包括：绝缘底板；可变电容器，其放置在该绝缘底板上并且包括彼此平行且间隔放置的第一极板、第二极板和振动板，该振动板以悬臂的方式夹置在该第一极板与该第二极板之间从而在该第一极板与该振动板之间形成第一电容器，并在该振动板与该第二极板之间形成第二电容器；以及静电极板，其放置在该绝缘底板上并且包括彼此平行且间隔放置的第三极板和第四极板，该振动板的一部分伸入到该第三极板与该第四极板之间，该第三极板与该第四极板之间的静电场是可调节的。根据本发明的低频负刚度电容传感器，能够通过控制静电极板之间的电场强度来加大振动板的偏转程度，从而实现低频信号的非线性放大。

公开(公告)号：CN106595722A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201611201764.2

申请日：2016-12-22

Applicant: 厦门大学

Inventor： 雷鹰 ,  刘丽君 ,  聂泳忠

IPC: G01D5/24

CPC classification number: G01D5/24

Abstract: 本发明涉及一种低频负刚度电容传感器，包括：绝缘底板；可变电容器，其放置在该绝缘底板上并且包括彼此平行且间隔放置的第一极板、第二极板和振动板，该振动板以悬臂的方式夹置在该第一极板与该第二极板之间从而在该第一极板与该振动板之间形成第一电容器，并在该振动板与该第二极板之间形成第二电容器；以及静电极板，其放置在该绝缘底板上并且包括彼此平行且间隔放置的第三极板和第四极板，该振动板的一部分伸入到该第三极板与该第四极板之间，该第三极板与该第四极板之间的静电场是可调节的。根据本发明的低频负刚度电容传感器，能够通过控制静电极板之间的电场强度来加大振动板的偏转程度，从而实现低频信号的非线性放大。