公开(公告)号：CN104144553A

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201410391853.2

申请日：2014-08-11

Applicant: 厦门大学

Inventor： 林麒 ,  李晓乐 ,  刘汝兵 ,  杨欢 ,  江沆松

IPC: H05H1/24

Abstract: 一种光致电离等离子体发生器，涉及一种等离子体发生器。设有光致电离等离子体腔和紫外光源；所述紫外光源置于光致电离等离子体腔内，或紧靠光致电离等离子体腔，以提高光致电离的效果，所述光致电离等离子体腔为密闭腔体，密闭腔体内充有混合气体。所述混合气体可采用He、Ar、Ne等惰性气体中的至少两种。所述光致电离等离子体腔可采用对紫外线有高透射率的材料制作。所述紫外光源可采用激光光源、紫外汞灯光源、紫外线金属卤化物灯光源、氙灯光源等中的一种。可提供稳定、高密度、大体积的等离子体；工作可靠、耗能少、维护方便且费用低、使用周期长、造价低廉；可根据需要通过电开关迅速让等离子体产生或消失。

公开(公告)号：CN104144553B

公开(公告)日：2017-10-17

申请号：CN201410391853.2

申请日：2014-08-11

Applicant: 厦门大学

Inventor： 林麒 ,  李晓乐 ,  刘汝兵 ,  杨欢 ,  江沆松

IPC: H05H1/24

Abstract: 一种光致电离等离子体发生器，涉及一种等离子体发生器。设有光致电离等离子体腔和紫外光源；所述紫外光源置于光致电离等离子体腔内，或紧靠光致电离等离子体腔，以提高光致电离的效果，所述光致电离等离子体腔为密闭腔体，密闭腔体内充有混合气体。所述混合气体可采用He、Ar、Ne等惰性气体中的至少两种。所述光致电离等离子体腔可采用对紫外线有高透射率的材料制作。所述紫外光源可采用激光光源、紫外汞灯光源、紫外线金属卤化物灯光源、氙灯光源等中的一种。可提供稳定、高密度、大体积的等离子体；工作可靠、耗能少、维护方便且费用低、使用周期长、造价低廉；可根据需要通过电开关迅速让等离子体产生或消失。