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公开(公告)号：CN120041811A
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202510240211.0
申请日：2025-03-03
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明首先提供了一种快速温度和磁场双控装置，其结构简单，高频交变电源和直流电流发生器分别接通一螺旋感应线圈，可以实现对导电衬底的快速加热，并在较短时间内达到目标温度。进一步地，通过调节高频交变电源和直流电流发生器的输出参数即可对导电衬底的温度及其所处的磁场进行动态调节，具有良好的工业应用前景。本发明还提供了一种上述装置在化学气相沉积的应用，能够实现对导电衬底的快速加热以及对反应气体的有效激活和分子定向流动，显著提高沉积速率和薄膜的均匀性，进而获得具有高结晶性和良好附着力的薄膜材料。
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