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公开(公告)号：CN112212798A
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN202010818945.X
申请日：2020-08-14
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供了一种零件三维形貌检测装置，包括：基座、XY直线运动装置、Z轴运动装置、显微视觉检测装置、A轴旋转平台、C轴旋转平台、顶部光源、背光源、侧面面光源；XY直线运动装置和Z轴运动装置固定于基座上方；样品放置于背光源的检测罩的上表面；A轴旋转平台和C轴旋转平台通过连接件固定在XY直线运动装置上方；Z轴运动装置与显微视觉检测装置沿着Z轴连动连接；A轴旋转平台与XY直线运动装置沿着X轴和Y轴连动连接，C轴旋转平台与A轴旋转平台沿着A轴连动连接，背光源检测罩通过紧固螺丝锁紧固定在C轴旋转平台的上方，并将背光源放置在背光源检测罩内部提供背光照明；显微视觉检测装置朝向样品。
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