公开(公告)号：CN106441261B

公开(公告)日：2019-05-10

申请号：CN201610916234.X

申请日：2016-10-21

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  张乐乐 ,  马思远 ,  陈佳鸣 ,  李威 ,  占瞻 ,  孙道恒

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 一种微机械陀螺仪，涉及陀螺仪。设有中间层、上层盖、封装盖帽层，在中间层上设有驱动电极、驱动耦合环形结构、转向杠杆、驱动导向谐振器、敏感质量块、驱动检测电极、检测导向谐振器、检测耦合环形结构、检测电极和锚点结构；驱动电极置于结构的正中央，驱动耦合环形结构置于驱动电极的外侧，驱动耦合环形结构外侧放置四个中心对称的转向杠杆，转向杠杆与敏感质量块相邻一侧的驱动导向谐振器连接，敏感质量块位于驱动耦合环形结构的上、下、左、右；敏感质量块内外两侧各放置以自身对称检测导向谐振器；检测导向谐振器外侧设置检测耦合环形结构，检测耦合环形结构外侧设置中心对称的检测电极；上层盖上设有支撑结构、导电材料、检测电极。

公开(公告)号：CN106441261A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610916234.X

申请日：2016-10-21

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  张乐乐 ,  马思远 ,  陈佳鸣 ,  李威 ,  占瞻 ,  孙道恒

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

CPC classification number: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 一种微机械陀螺仪，涉及陀螺仪。设有中间层、上层盖、封装盖帽层，在中间层上设有驱动电极、驱动耦合环形结构、转向杠杆、驱动导向谐振器、敏感质量块、驱动检测电极、检测导向谐振器、检测耦合环形结构、检测电极和锚点结构；驱动电极置于结构的正中央，驱动耦合环形结构置于驱动电极的外侧，驱动耦合环形结构外侧放置四个中心对称的转向杠杆，转向杠杆与敏感质量块相邻一侧的驱动导向谐振器连接，敏感质量块位于驱动耦合环形结构的上、下、左、右；敏感质量块内外两侧各放置以自身对称检测导向谐振器；检测导向谐振器外侧设置检测耦合环形结构，检测耦合环形结构外侧设置中心对称的检测电极；上层盖上设有支撑结构、导电材料、检测电极。