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公开(公告)号：CN108088371B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201711370854.9
申请日：2017-12-19
Applicant: 厦门大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种用于大位移监测的光电探测器位置布局，涉及光电探测器。所述用于大位移监测的光电探测器位置布局为：将两个正方形PD放在光源的同一侧，其边一侧靠近光源，光源被反射回来的光线照射在PD上。实现仅利用两个PD对物体位置的更大位移监控，输出的线性区间更大，可分段处理，为监测不同的位移范围提供便利；高分辨率，而且灵敏度相对更好，易于控制，结果处理简便、成本低，给流片加工带来极大方便；在处理外侧的PD对应的光强时，采用将其光强与内侧PD上的光强相比的方法，很大程度上降低照度对结果的影响；只需要模拟电路的设计便能实现多样的监测功能，输出数量少，不需要大规模的数字电路来处理阵列式的输出，节约芯片的面积。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108088371A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201711370854.9
申请日：2017-12-19
Applicant: 厦门大学
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/02
Abstract: 一种用于大位移监测的光电探测器位置布局，涉及光电探测器。所述用于大位移监测的光电探测器位置布局为：将两个正方形PD放在光源的同一侧，其边一侧靠近光源，光源被反射回来的光线照射在PD上。实现仅利用两个PD对物体位置的更大位移监控，输出的线性区间更大，可分段处理，为监测不同的位移范围提供便利；高分辨率，而且灵敏度相对更好，易于控制，结果处理简便、成本低，给流片加工带来极大方便；在处理外侧的PD对应的光强时，采用将其光强与内侧PD上的光强相比的方法，很大程度上降低照度对结果的影响；只需要模拟电路的设计便能实现多样的监测功能，输出数量少，不需要大规模的数字电路来处理阵列式的输出，节约芯片的面积。
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公开(公告)号：CN108063102A
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201711371165.X
申请日：2017-12-19
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/66
Abstract: 一种基于四象限光电探测器的监测微镜的方法，涉及四象限光电探测器。整个监测系统由微镜、四象限光电探测器、光源构成一个闭环系统；根据需要，微镜受到驱动后产生一个位置变化，驱动过程受到扰动，得到微镜位置；得到的微镜位置跟实际需要的位置存在差距，当前的位置变化通过光线的反射使芯片上的四象限光电探测器产生四路输出电压，通过处理四象限光电探测器产生四路输出电压精确得到微镜的位置，与预期想要得到的位置进行对比，矫正微镜的驱动，即得到更加精确的位置。可实现利用FQPD对微镜的位移和偏转角度进行同时监测，使两者的输出的线性区间都尽可能最大，易于控制，结果处理简便、成本低。
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公开(公告)号：CN107555395B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201710807489.7
申请日：2017-09-08
Applicant: 厦门大学
Abstract: 光电位置传感芯片与电热微镜键合的一体化器件，涉及一体化微光机电器件。将光电位置传感芯片与电热微镜键合集成在一起。光电位置传感芯片设有光源、光发射驱动电路、四象限光电探测器和光接收放大电路、带隙基准和模/数转换器。根据电热微镜的底座尺寸，在光电位置传感芯片焊盘内侧与四象限光电探测器外侧之间布上一圈不与芯片内部电路相连的焊盘，并利用导电银漆将电热微镜键合到这一圈焊盘上，实现芯片与微镜一体化。实现带有位置传感器的可闭环控制的电热微镜系统的微型化，使体积大幅度降低，并提高了系统的集成度、抗干扰能力，充分利用光电位置传感芯片易集成、高线性度、敏感性强等一系列优势，可大范围内精确监测电热微镜的位置变化。
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公开(公告)号：CN107555395A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201710807489.7
申请日：2017-09-08
Applicant: 厦门大学
Abstract: 光电位置传感芯片与电热微镜键合的一体化器件，涉及一体化微光机电器件。将光电位置传感芯片与电热微镜键合集成在一起。光电位置传感芯片设有光源、光发射驱动电路、四象限光电探测器和光接收放大电路、带隙基准和模/数转换器。根据电热微镜的底座尺寸，在光电位置传感芯片焊盘内侧与四象限光电探测器外侧之间布上一圈不与芯片内部电路相连的焊盘，并利用导电银漆将电热微镜键合到这一圈焊盘上，实现芯片与微镜一体化。实现带有位置传感器的可闭环控制的电热微镜系统的微型化，使体积大幅度降低，并提高了系统的集成度、抗干扰能力，充分利用光电位置传感芯片易集成、高线性度、敏感性强等一系列优势，可大范围内精确监测电热微镜的位置变化。
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公开(公告)号：CN108063102B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201711371165.X
申请日：2017-12-19
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/66
Abstract: 一种基于四象限光电探测器的监测微镜的方法，涉及四象限光电探测器。整个监测系统由微镜、四象限光电探测器、光源构成一个闭环系统；根据需要，微镜受到驱动后产生一个位置变化，驱动过程受到扰动，得到微镜位置；得到的微镜位置跟实际需要的位置存在差距，当前的位置变化通过光线的反射使芯片上的四象限光电探测器产生四路输出电压，通过处理四象限光电探测器产生四路输出电压精确得到微镜的位置，与预期想要得到的位置进行对比，矫正微镜的驱动，即得到更加精确的位置。可实现利用FQPD对微镜的位移和偏转角度进行同时监测，使两者的输出的线性区间都尽可能最大，易于控制，结果处理简便、成本低。
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