公开(公告)号：CN109110824A

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201810919869.4

申请日：2018-08-14

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑淞生 ,  严鑫 ,  夏静娴 ,  王中华 ,  吴天桐 ,  刘洋

IPC: C01G53/04 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: C01G53/04 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01P2004/30 ,  C01P2004/64 ,  C01P2006/40

Abstract: 用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍及制备，涉及纳米材料的制备。纳米氧化镍为颗粒状纳米氧化镍，其晶粒直径为10～20nm，有(111)晶向的择优取向。在磁控溅射仪阴极装上金属镍靶和挡板，将基片放在磁控溅射仪腔体内基台上，关闭腔体，启动磁控溅射仪真空泵，将腔体内气压降至初始气压；让基台旋转，向腔体内通入O2和Ar的混合气体，使腔体内总气压为6～10mTorr，控制O2压强占总气压的50％～100％；开启磁控溅射电源，将溅射总功率升至60～100W，经预溅射后打开挡板，溅射30～120min，得到用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍。