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公开(公告)号：CN110015707A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910164315.2
申请日：2019-03-05
Applicant: 厦门大学
IPC: C02F1/04 , C02F1/08 , C02F1/02 , C02F103/34
Abstract: 本发明公开了一种光刻胶废剥离液回收装置，用于从光刻胶废剥离液中回收溶剂，能够有效分离轻组分杂质、回收溶剂产品以及重组分杂质。通过控制系统实现进料管线流量控制，降膜再沸蒸发器蒸发室的液位、压力和温度控制，薄膜蒸发器液位、压力和温度控制，分隔壁塔塔顶压力、塔顶回流罐液位、组分-塔板温差串级和塔釜液位控制。本发明的光刻胶废剥离液回收装置能够用于回收废剥离液中的高价值溶剂成分，可有效降低能耗、减少设备投资，而且具有较好的操作稳定性。
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