公开(公告)号：CN115267250B

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202210711427.7

申请日：2022-06-22

Applicant: 厦门大学

Inventor： 孙道恒 ,  陈沁楠 ,  魏宏成 ,  刘贤龙 ,  海振银 ,  何功汉 ,  徐攀华

IPC: G01P5/08

Abstract: 一种等离子体薄膜风速敏感元件及其制备方法和压气机，包括有绝缘层和敏感栅，该绝缘层附着于基底表面；该敏感栅附着于绝缘层表面，该敏感栅包括一电极对，该电极对包括正极和负极且二者之间具有间隙且为对称布置，该正极和负极末端分别设有外连结构，由于薄膜风速敏感元件的薄膜特性，其可以布置在复杂曲面，从而测得复杂曲面表面的流场信息，其可广泛用于对高温、高速、瞬态、小体积流场测量场景，具有高测试精度、响应速度快、对流场影响小等优点。

公开(公告)号：CN115267250A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202210711427.7

申请日：2022-06-22

Applicant: 厦门大学

Inventor： 孙道恒 ,  陈沁楠 ,  魏宏成 ,  刘贤龙 ,  海振银 ,  何功汉 ,  徐攀华

IPC: G01P5/08

Abstract: 一种等离子体薄膜风速敏感元件及其制备方法和压气机，包括有绝缘层和敏感栅，该绝缘层附着于基底表面；该敏感栅附着于绝缘层表面，该敏感栅包括一电极对，该电极对包括正极和负极且二者之间具有间隙且为对称布置，该正极和负极末端分别设有外连结构，由于薄膜风速敏感元件的薄膜特性，其可以布置在复杂曲面，从而测得复杂曲面表面的流场信息，其可广泛用于对高温、高速、瞬态、小体积流场测量场景，具有高测试精度、响应速度快、对流场影响小等优点。