一种非极性a面GaN薄膜生长方法

    公开(公告)号:CN103215647A

    公开(公告)日:2013-07-24

    申请号:CN201310102762.8

    申请日:2013-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种非极性a面GaN薄膜生长方法,包括如下步骤:(1)将a面6H-SiC衬底置于金属有机物化学气相淀积MOCVD反应室中,通入氢气与氨气的混合气体,对衬底基片进行热处理,反应室的真空度小于2×10-2Torr,加热温度为900-1200℃,时间为5-10min,压力为20-760Torr;(2)在热处理后的a面6H-SiC衬底上生长厚度为100-200nm,温度为600-800℃的无应力AlInN成核层;(3)在无应力AlInN成核层之上生长厚度为1000-2000nm,镓源流量为5-100μmol/min,氨气流量为1000-10000sccm的高V-III比非极性a面GaN缓冲层;(4)在所述a面GaN缓冲层之上生长厚度为100-500nm,温度为600-800℃的无应力AlInN插入层;(5)在AlInN插入层之上生长厚度为2000-4000nm,镓源流量为50-200μmol/min,氨气流量为1000-3000sccm的低V-III比非极性a面GaN外延层。采用该方法能够极大地提高非极性a面GaN薄膜材料质量和表面形貌。

    一种工程机械降噪板
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206394572U

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201621115247.9

    申请日:2016-10-12

    Abstract: 本实用新型涉及一种工程机械降噪板,包括外板(1)、中间板(2)、隔音填充物(3),所述的中间板(2)为具有凹凸结构的薄板,夹设在两块外板(1)之间,且在中间板(2)和外板(1)之间填充隔音填充物(3)。与现有技术相比,本实用新型利用隔音材质填充中层板与外板之间的间隙,降噪效率高,结构简单,控制噪声声波的传播,可制成模块化的外壳,隔音材料与凹凸状的中层板起到双重隔音的效果。此实用新型结构简单,对制造工艺的要求不高,容易实现,成本低,安装及拆卸方便,特别适用于驾驶室及发动机噪声的隔离。

    一种公交车用包裹货架
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203111045U

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201320025416.X

    申请日:2013-01-17

    Abstract: 本实用新型公开了一种公交车用包裹货架,包括多层方格结构、并配有安全门及相应的钥匙或条形码,其特征在于:在公交车内安装安全包裹货架,货架的位置应尽量放置在便于下车取走的后车门附近。本实用新型可供乘客放置多种物品,乘客可将随时携带的大件物品(如小行李箱)放置到货柜下层,从而不必放在通道上,使上下车时乘客在通道走动方便;而菜类等冷冻食品可放在上层,解放双手,从而提高了乘客的舒适性,并可以减少摩擦事件。

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