公开(公告)号：CN104393346A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201410539657.5

申请日：2014-07-29

Applicant: 原子能和代替能源委员会

Inventor： S·欧卡希 ,  A·巴金

IPC: H01M10/058

CPC classification number: H01M10/04 ,  B81C1/00396 ,  B81C1/00412 ,  C09K13/04 ,  C23F1/02 ,  C23F4/00 ,  G03F7/094 ,  H01M4/0407 ,  H01M4/0421 ,  H01M4/0426 ,  H01M4/045 ,  H01M4/0492 ,  H01M4/1395 ,  H01M4/382 ,  H01M6/045 ,  H01M6/186 ,  H01M6/187 ,  H01M6/40 ,  H01M10/052 ,  H01M10/0562 ,  H01M10/0585 ,  H01M10/38 ,  H01M2300/0002 ,  Y02E60/122 ,  Y02P70/54

Abstract: 由多个层的堆叠来实施的锂微电池的制造方法，所述多个层依次包括：由第一材料制成的第一层(11)，由第二材料制成的第二层(12)，固体电解质层(13)和第一电极(14)。该方法还包括蚀刻形成由第一材料制成的第一图案(M1)以及由第二材料制成的第二图案(M2)，该第二图案限定了该电解质层(13)的覆盖区域(13”)以及非覆盖区域(13’)。然后用第二图案(M2)作为蚀刻掩模来蚀刻非覆盖区域(13’)。在蚀刻该第一图案(M1)之后，在第二图案(M2)上形成了锂基层，该锂基层和该第二图案形成了第二锂基电极。