公开(公告)号：CN105164375A

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201480023355.0

申请日：2014-04-10

Applicant: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司

Inventor： 哈基姆·布哈迪德 ,  泽格·普里厄-布兰克

IPC: F01C21/00 ,  F04B37/14 ,  F04C23/00 ,  F04C25/02 ,  F04D19/04 ,  F04B53/20

CPC classification number: F01C21/007 ,  F04B37/14 ,  F04B39/16 ,  F04B41/06 ,  F04C23/001 ,  F04C25/02 ,  F04C2220/00 ,  F04C2240/806 ,  F04D19/046

Abstract: 一种具有对颗粒不敏感的第一真空泵(10)的真空泵系统。与第一真空泵(10)连接的第二真空泵(12)是对颗粒敏感的。连接元件(14)在这两个真空泵(10，12)之间构成为，使得所述连接元件建立刚性的连接并且承载第一真空泵(10)。此外，连接元件(14)与过滤元件(18，20)连接。不需要设置承载真空泵的钢支架。