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公开(公告)号：CN116057668A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202180058711.2
申请日：2021-06-25
Applicant: 卢森堡科学技术研究院
Inventor： N·戈达德 , S·格林塞克 , A·布拉兹克斯马丁内斯 , E·德法伊
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明涉及包括如下的材料沉积方法：使用1‑甲氧基‑2‑丙醇作为溶剂和乙酰丙酮作为改性剂制备Pb(Zrx,Ti1‑x)O3的前体溶液；和通过在衬底上旋涂所述前体溶液来形成用于电活性的籽晶层。所述电活性膜可为旋涂或喷墨印刷在籽晶层上的PZT、PZO或BFO。由于在制备所述籽晶层时使用1‑甲氧基‑2‑丙醇，经验显示压电膜的纯(100)取向。这种(100)取向归因于在构成预结晶的籽晶层上形成纳米晶体。
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