公开(公告)号：CN104093500B

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201380006248.2

申请日：2013-01-09

Applicant: 卢森堡科学技术研究院

Inventor： D.莱诺布尔

IPC: B05D1/34 ,  B05D3/04 ,  C08J7/16 ,  H01J37/32 ,  B05D1/02

CPC classification number: B05D1/34 ,  B05B1/14 ,  B05D1/02 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0493 ,  B05D3/107 ,  C08J7/047 ,  C08J7/16 ,  H01J2237/332

Abstract: 本发明涉及在基底(1)上形成聚合物涂层的方法。该方法包括以下步骤：在抽空的反应室(3)中提供具有待涂布的表面(2)的基底(1)；提供聚合物形成物质(6)的第一来源(5)和自由基(8)的第二来源(7)。根据本发明，第一来源(5)和第二来源(7)彼此分离且与反应室(3)分离，聚合物形成物质(6)以及自由基(8)至少临时在同时期但是空间分离地传输到基底表面(2)，由此避免聚合物形成物质(6)与自由基(8)在到达基底表面(2)之前就发生反应。此外，本发明涉及实施根据本发明的方法的装置(100)。