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公开(公告)号:CN114930555A
公开(公告)日:2022-08-19
申请号:CN202180008959.8
申请日:2021-01-22
Applicant: 卢森堡科学技术研究院
IPC: H01L41/047 , H01L41/08 , H01L41/29 , H01L41/318
Abstract: 本发明涉及一种压电器件(2),该压电器件(2)包括透明衬底(4);衬底(4)上的透明阻挡层(6);透明阻挡层(6)上的透明压电层(8);透明压电层(8)上的叉指电极(12)的透明层(10);其中所述压电器件(2)还包括至少布置在叉指电极(12)的透明层(10)的相继的指之间的压电层部分上的透明介电层(16),所述透明介电层(16)的折射率低于叉指电极(12)的透明层(10)的折射率,并且其介电强度高于3兆伏/米。