公开(公告)号：CN107252762A

公开(公告)日：2017-10-17

申请号：CN201710339558.6

申请日：2017-05-15

Applicant: 南通综艺新材料有限公司

Inventor： 张泽林

IPC: B05D7/00 ,  B05D3/02 ,  C09D1/00 ,  C09D7/12 ,  C30B35/00

CPC classification number: B05D7/00 ,  B05D3/0218 ,  C09D1/00 ,  C30B35/002

Abstract: 本发明公开了一种高效多晶自喷坩埚的喷涂工艺，包括如下步骤：坩埚检查——坩埚加热——配粉——搅拌——试喷——喷涂——冷却。本发明中的坩埚喷涂用纯水和硅胶把粉末喷料氮化硅涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层，涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂，及冷确后最终保证硅碇脱膜完整性。

公开(公告)号：CN107185790A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201710340530.4

申请日：2017-05-15

Applicant: 南通综艺新材料有限公司

Inventor： 张泽林

IPC: B05D7/22 ,  B05D1/02 ,  B05D1/38 ,  B05D3/00

CPC classification number: B05D7/227 ,  B05D1/025 ,  B05D1/38 ,  B05D3/002

Abstract: 本发明公开了一种G6型高效多晶自喷坩埚的喷涂工艺，包括如下步骤：坩埚检查——坩埚加热——配粉——搅拌——试喷——喷涂——冷却。本发明中的坩埚喷涂用纯水和硅胶把粉末喷料氮化硅涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层，涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂，及冷确后最终保证硅碇脱膜完整性。