基于双面金属光波导热增强刻蚀SERS芯片的方法

    公开(公告)号:CN110702659A

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201910914347.X

    申请日:2019-09-26

    Applicant: 南通大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于双面金属光波导热增强刻蚀SERS芯片的方法,包括如下步骤:第一步:玻璃片处理;第二步:蒸发镀膜法镀厚银膜;第三步:磁控溅射法镀薄银膜;第四步:制成SERS芯片。本发明的操作简单,不需要复杂的操作步骤并且对环境温度没有要求。本发明的芯片价格实惠,所需要的原料较为廉价,节约成本。本发明的芯片表征直接,可以直接用SEM进行表征,可以直接滴加探针分子测试拉曼信号。

Patent Agency Ranking