压电‑摩擦电复合式MEMS宽频能量采集器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105186922B

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201510704059.3

    申请日:2015-10-27

    Abstract: 一种压电‑摩擦电复合式MEMS宽频能量采集器及其制备方法,该采集器包括压电能量采集器主结构、阻挡块及垫片;压电能量采集器主结构包括硅固定基座、硅基压电悬臂梁及质量块;硅固定基座包括硅层及其两侧的二氧化硅层;硅基压电悬臂梁包括硅悬臂梁支撑层及其上的压电厚膜层;硅悬臂梁支撑层包括硅层、二氧化硅层及支撑层电极层;压电厚膜层包括压电厚膜及其表面的压电厚膜电极层;质量块包括集成硅质量块及其表面的摩擦层;阻挡块包括摩擦层基座、电极层及摩擦层;垫片位于硅固定基座和阻挡块之间。本发明使换能元件在低频振动环境下获得较大的输出功率,以解决传统的MEMS压电能量采集器输出功率低、频带窄等问题。

    压电-摩擦电复合式MEMS宽频能量采集器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105186922A

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201510704059.3

    申请日:2015-10-27

    CPC classification number: H02N1/04 B81C3/001 H02N2/183 H02N2/22

    Abstract: 一种压电-摩擦电复合式MEMS宽频能量采集器及其制备方法,该采集器包括压电能量采集器主结构、阻挡块及垫片;压电能量采集器主结构包括硅固定基座、硅基压电悬臂梁及质量块;硅固定基座包括硅层及其两侧的二氧化硅层;硅基压电悬臂梁包括硅悬臂梁支撑层及其上的压电厚膜层;硅悬臂梁支撑层包括硅层、二氧化硅层及支撑层电极层;压电厚膜层包括压电厚膜及其表面的压电厚膜电极层;质量块包括集成硅质量块及其表面的摩擦层;阻挡块包括摩擦层基座、电极层及摩擦层;垫片位于硅固定基座和阻挡块之间。本发明使换能元件在低频振动环境下获得较大的输出功率,以解决传统的MEMS压电能量采集器输出功率低、频带窄等问题。

    新型压电式水中振动能量采集装置

    公开(公告)号:CN205725110U

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201620656375.8

    申请日:2016-06-29

    Abstract: 一种新型压电式水中振动能量采集装置,包括管道,圆柱钝体,压电双晶片,压电聚合物薄膜,导线,整流电路,充电电池,电极点。本实用新型解决了现有技术对水下能量采集和转化,并解决水下工作电路模块电池供电的不足的问题,实现了利用流体通过钝体结构时,形成涡街,涡街与压电聚合物相互作用使得压电双晶片振动,通过压电效应将机械能转换为电能。且可以将单个能量采集装置沿管道实现多个阵列化排布,以增加输出功率。

    一种用于室外喷雾降温的控制阀

    公开(公告)号:CN205064973U

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201520836119.2

    申请日:2015-10-27

    Abstract: 一种用于室外喷雾降温控制阀,是由冷却水出水管、集热罩、冷却通道、活塞、拱形孔、进水管、阀门外壳支座、出水管、进出水孔、形状记忆合金弹簧、形状记忆合金弹簧固定端、集热罩固定端共同组成。本实用新型不需要外部的提供电力来驱动,可根据外界的温度来控制阀门的启闭,活塞内部设有冷却通道,可以在恶劣的室外环境下阀门可间歇式启闭工作,结构简单,使用方便,成本低廉。

    一种基于形状记忆合金的精密流量泵

    公开(公告)号:CN205078414U

    公开(公告)日:2016-03-09

    申请号:CN201520836353.5

    申请日:2015-10-27

    Abstract: 一种基于形状记忆合金的精密流量泵,是由上端盖、有机玻璃管、端盖连接杆、上活塞、活塞连接杆、下端盖、下活塞、泵腔、扩散口、收缩口、冷却水出口、形状记忆合金上弹簧、形状记忆合金下弹簧、形状记忆合金弹簧固定端子(通电端)共同组成。本实用新型根据泵的输出压力,流量分别同电压及电流的关系,我们可以设置电流泵吸泵送我们所需要的精密流量。本实用新型结构简单,使用方便,成本低廉。

    压电-摩擦电复合式MEMS宽频能量采集器

    公开(公告)号:CN205070840U

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201520836341.2

    申请日:2015-10-27

    Abstract: 一种压电-摩擦电复合式MEMS宽频能量采集器,该采集器包括压电能量采集器主结构、阻挡块及垫片;压电能量采集器主结构包括硅固定基座、硅基压电悬臂梁及质量块;硅固定基座包括硅层及其两侧的二氧化硅层;硅基压电悬臂梁包括硅悬臂梁支撑层及其上的压电厚膜层;硅悬臂梁支撑层包括硅层、二氧化硅层及支撑层电极层;压电厚膜层包括压电厚膜及其表面的压电厚膜电极层;质量块包括集成硅质量块及其表面的摩擦层;阻挡块包括摩擦层基座、电极层及摩擦层;垫片位于硅固定基座和阻挡块之间。本实用新型使换能元件在低频振动环境下获得较大的输出功率,以解决传统的MEMS压电能量采集器输出功率低、频带窄等问题。

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