公开(公告)号：CN1995910A

公开(公告)日：2007-07-11

申请号：CN200610125076.2

申请日：2006-11-17

Applicant: 南昌大学

Inventor： 梁发云 ,  赵前程 ,  邓善熙

IPC: G01B13/00 ,  G01B13/02 ,  G01B13/03 ,  G01B13/16

Abstract: 一种高精度球度气动测量系统，其特征在于稳压气源连接分配器，分配器连接主喷嘴，主喷嘴连接背压气室，背压气室连接量规和压力送变器，压力送变器连接信号调理，信号调理连接模数转换及数据采集卡，模数转换及数据采集卡连接工业控制计算机，量规为高精度球形量规，在球形量规上布置6个测头。本发明的优点是：(1)使用球面量规的多传感器、多测点的分布测量方式，同步测量取样点上的尺寸相对偏移量；(2)气针式传感器测量端位于同一球面上，测量喷嘴的中轴线交点即为该球面圆心；(3)利用计算机自动采样传感器测量的相对偏移量，求算出被测球面的半径、球度。

公开(公告)号：CN1948898A

公开(公告)日：2007-04-18

申请号：CN200610124906.X

申请日：2006-10-30

Applicant: 南昌大学

Inventor： 梁发云 ,  赵前程 ,  邓善熙

IPC: G01B13/02

Abstract: 一种气针式传感器，它包括针体、压力传感器，其特征是针体的一端为进气喷嘴，另一端为测量喷嘴，针体壁上连接压力传感器，针体内腔为气室。本发明的优点是：(1)结构微小化设计，使安装使用方便；(2)测量分辨率高，可用于亚微米尺寸测量。

公开(公告)号：CN200979405Y

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN200620099724.7

申请日：2006-10-30

Applicant: 南昌大学

Inventor： 梁发云 ,  赵前程 ,  邓善熙

IPC: G01B13/02

Abstract: 一种高精度球度气动量规，它包括基座、量规、气针式传感器，其特征是量规为球面，固定在基座上，在量规的球面上均匀布置若干个气针式传感器，气针式传感器由进气喷嘴和测量喷嘴构成，在气针式传感器旁连有排气槽，量规的球面为凸球面和凹球面，与被测球外缘做到相吻合。本实用新型的优点是：(1)使用亚微米测量精度的气针式传感器，达到分辨率0.1μm，测量范围20μm；(2)使用多传感器、多测点的分布测量方式，同步测量取样点上的尺寸相对偏移量；(3)气针式传感器测量端位于同一球面上，测量喷嘴的中轴线交点即为该球面圆心；(4)传感器数量根据额定测量球面半径的大小可以优化选择；(5)使用传感器测量的相对偏移量求解出对应测量点的坐标，并进行球面拟合，求算出被测球面的半径、球度。