公开(公告)号：CN216250747U

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202122425004.2

申请日：2021-10-09

Applicant: 南昌大学

Inventor： 夏勇 ,  吴之旭 ,  欧赢冬 ,  蒲诗睿 ,  王玉皞

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/09 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y20/00

Abstract: 本实用新型公开了一种基于金属纳米柱阵列表面等离子体激元的日盲紫外探测器，属于日盲紫外探测技术及纳米材料制备技术领域。所述探测器包括衬底、置于所述衬底表面的氧化镓薄膜、置于氧化镓薄膜表面的金属纳米柱阵列以及置于金属纳米柱阵列上方的金属电极，所述金属纳米柱阵列所用金属包括铝、金、银、铂中的一种或多种。本实用新型利用comsol进行模拟，寻找优化的金属纳米柱阵列参数，节省时间及资源。金属纳米柱阵列产生传播表面等离子体激元(PSPP)和表面等离子体共振(LSPR)，使得金属纳米柱表面电场增强，散射截面增大，大幅增强了探测器对日盲光的探测能力，提升了探测器的光电流和响应率。