一种细晶高纯钽板及钽板织构调控方法

    公开(公告)号:CN119736567A

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202411796941.0

    申请日:2024-12-09

    Applicant: 南昌大学

    Inventor: 唐晔 彭宇

    Abstract: 本发明提供了一种细晶高纯钽板及钽板织构调控方法,涉及钽板技术领域。本发明提供的钽板的平均晶粒尺寸小于23μm,且所述钽板内的α织构与γ织构的含量相互独立地为20%‑50%,且本发明提供的方法包括将高纯钽板在400℃‑800℃热处理20min‑120min后,降温20℃‑80℃并热处理50min‑150min,升温至950℃‑1050℃热处理80min‑100min后,冷却至室温制得细晶高纯钽板。本发明提供的织构调控方法操作简单、成本低廉且易于实现,进而有利于进行大规模工业化应用,对制备高品质高纯钽溅射靶材以及制备具有优良深加工性能的高纯钽板具有重要的实用价值,且获得的细晶高纯钽板的平均晶粒尺寸小于23μm,且在钽板内的α织构与γ织构的含量相互独立地为20%‑50%。

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