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公开(公告)号:CN111366991A
公开(公告)日:2020-07-03
申请号:CN202010304921.2
申请日:2020-04-17
Applicant: 南方科技大学
IPC: G02B1/00
Abstract: 本发明实施例公开了一种光学超构表面、制备方法及加工装置。其中制备方法包括提供一光学反应池,光学反应池包括第一基板、第二基板以及位于第一基板和第二基板之间的金属盐前驱体溶液,第一基板靠近金属盐前驱体溶液的一侧设置有聚酰亚胺涂层;利用至少两束偏振状态不同的光束照射光学反应池,至少两束偏振状态不同的光束在光学反应池形成周期性偏振分布的干涉图样,以使光学反应池内形成光学超构表面。本发明实施例的技术方案,具有无需掩模版,操作简便,效果良好的优点,可以实现光学超构表面的高效、低成本、批量化和大面积制备。
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公开(公告)号:CN111366991B
公开(公告)日:2022-01-25
申请号:CN202010304921.2
申请日:2020-04-17
Applicant: 南方科技大学
IPC: G02B1/00
Abstract: 本发明实施例公开了一种光学超构表面、制备方法及加工装置。其中制备方法包括提供一光学反应池,光学反应池包括第一基板、第二基板以及位于第一基板和第二基板之间的金属盐前驱体溶液,第一基板靠近金属盐前驱体溶液的一侧设置有聚酰亚胺涂层;利用至少两束偏振状态不同的光束照射光学反应池,至少两束偏振状态不同的光束在光学反应池形成周期性偏振分布的干涉图样,以使光学反应池内形成光学超构表面。本发明实施例的技术方案,具有无需掩模版,操作简便,效果良好的优点,可以实现光学超构表面的高效、低成本、批量化和大面积制备。
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