一种基于石墨炔的湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118465033A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410543941.3

    申请日:2024-05-06

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明为一种基于石墨炔的湿度传感器及其制备方法。该传感器件的结构自下而上分别为衬底、功能层和叉指电极;所述功能层为石墨炔薄膜;石墨炔薄膜的大小为0.5×0.5~1×1cm,厚度为70~100nm。本发明通过引入具有湿度响应的石墨炔薄膜,利用石墨炔易于吸附水分子以及快速转移电荷的能力,制备得到响应速度显著提升的石墨炔湿度传感器,响应时间和恢复时间分别为0.101s和0.051s,并且在快速响应的同时,还具有较高的灵敏度(2328%)。

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