公开(公告)号：CN103105511B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201210595920.3

申请日：2012-12-28

Applicant: 南开大学

Inventor： 袁小聪 ,  杜路平 ,  沈军峰 ,  朱思伟 ,  闵长俊 ,  方晖

IPC: G01Q60/18

Abstract: 本发明提供一种表面等离子体纵向场扫描近场光学显微镜装置及检测方法；其具有表面等离子体激发单元(1)入射光经高数值孔径物镜(6)聚焦后会在金属膜和空气界面激发SPPs，其相互干涉在焦点附近形成SPPs的驻波场；扫描控制单元(2)利用AFM控制器(4)可实现对AFM金属探针(5)的三维扫描和定位；检测单元(3)实现表面等离子体场的纵向场分量三维测量和分析。

公开(公告)号：CN103105511A

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201210595920.3

申请日：2012-12-28

Applicant: 南开大学

Inventor： 袁小聪 ,  杜路平 ,  沈军峰 ,  朱思伟 ,  闵长俊 ,  方晖

IPC: G01Q60/18

Abstract: 本发明提供一种表面等离子体纵向场扫描近场光学显微镜装置及检测方法；其具有表面等离子体激发单元(1)入射光经高数值孔径物镜(6)聚焦后会在金属膜和空气界面激发SPPs，其相互干涉在焦点附近形成SPPs的驻波场；扫描控制单元(2)利用AFM控制器(4)可实现对AFM金属探针(5)的三维扫描和定位；检测单元(3)实现表面等离子体场的纵向场分量三维测量和分析。

公开(公告)号：CN203164205U

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN201220754746.8

申请日：2012-12-28

Applicant: 南开大学

Inventor： 袁小聪 ,  杜路平 ,  沈军峰 ,  朱思伟 ,  闵长俊 ,  方晖

IPC: G01Q60/18

Abstract: 本实用新型提供一种表面等离子体纵向场扫描近场光学显微镜装置，其具有表面等离子体激发单元(1)入射光经高数值孔径物镜(6)聚焦后会在金属膜和空气界面激发SPPs，其相互干涉在焦点附近形成SPPs的驻波场；扫描控制单元(2)利用AFM控制器(4)可实现对AFM金属探针(5)的三维扫描和定位；检测单元(3)实现表面等离子体场的纵向场分量三维测量和分析。