公开(公告)号：CN103280466B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201310169460.2

申请日：2013-05-09

Applicant: 南开大学

Inventor： 侯国付 ,  赵静 ,  索松 ,  魏长春 ,  张晓丹 ,  赵颖

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  H01L31/20

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 一种基于AlOx/Ag/ZnO结构的高反射高绒度背电极，由衬底、对长波光陷光作用显著的大绒面结构的AlOx薄膜、对太阳光具有宽谱域高反射特性的Ag薄膜和介质层ZnO薄膜组成并形成叠层结构，其制备方法是：将清洗处理后的衬底放入沉积系统中，依次沉积AlOx薄膜、Ag薄膜和介质层ZnO薄膜，制得基于AlOx/Ag/ZnO结构的复合背电极。本发明的优点是：该结构的复合背电极既有由于大绒面结构AlOx薄膜带来的高绒度特征，同时也具有Ag薄膜的高反射特性，可显著提高光在太阳电池中的利用率和转换效率；该复合背电极可广泛用于基于非晶硅、非晶硅锗、微晶硅、微晶硅锗、纳米硅等材料的单结和多结叠层太阳电池。

公开(公告)号：CN103280466A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310169460.2

申请日：2013-05-09

Applicant: 南开大学

Inventor： 侯国付 ,  赵静 ,  索松 ,  魏长春 ,  张晓丹 ,  赵颖

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  H01L31/20

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 一种基于AlOx/Ag/ZnO结构的高反射高绒度背电极，由衬底、对长波光陷光作用显著的大绒面结构的AlOx薄膜、对太阳光具有宽谱域高反射特性的Ag薄膜和介质层ZnO薄膜组成并形成叠层结构，其制备方法是：将清洗处理后的衬底放入沉积系统中，依次沉积AlOx薄膜、Ag薄膜和介质层ZnO薄膜，制得基于AlOx/Ag/ZnO结构的复合背电极。本发明的优点是：该结构的复合背电极既有由于大绒面结构AlOx薄膜带来的高绒度特征，同时也具有Ag薄膜的高反射特性，可显著提高光在太阳电池中的利用率和转换效率；该复合背电极可广泛用于基于非晶硅、非晶硅锗、微晶硅、微晶硅锗、纳米硅等材料的单结和多结叠层太阳电池。