公开(公告)号：CN104310403A

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201410539525.2

申请日：2014-10-14

Applicant: 南开大学

Inventor： 姚江宏 ,  粟瑜梅 ,  潘玉松 ,  赵丽 ,  杨明 ,  陈战东 ,  吴强 ,  许京军

IPC: C01B33/021 ,  B82Y30/00

Abstract: 本发明公开了一种窄带发光黄色纳米硅颗粒的制备方法。将选取的并清洗干净的硅片及收集装置置于加工腔内，在一定气压范围的氮气或惰性气体气氛环境下，飞秒激光辐照硅片制备窄带发光黄色纳米硅颗粒。实验表明收集物中不含制备环境中的气体元素杂质，主要为粒径1-4nm的单晶硅纳米颗粒，其间夹杂一些粒径为40-240nm的硅单晶大颗粒，室温可见光范围内表现出窄带发光性质。本发明方法简单易行，绿色环保；在飞秒激光辐照硅片过程中调控气压，优化了在气相中对纳米颗粒的收集，同时能够将颗粒粒径控制于很小范围内且不引入杂质，提高了收集的硅纳米颗粒的纯度。

公开(公告)号：CN104310403B

公开(公告)日：2017-12-19

申请号：CN201410539525.2

申请日：2014-10-14

Applicant: 南开大学

Inventor： 姚江宏 ,  粟瑜梅 ,  潘玉松 ,  赵丽 ,  杨明 ,  陈战东 ,  吴强 ,  许京军

IPC: C01B33/021 ,  B82Y30/00

Abstract: 本发明公开了一种窄带发光黄色纳米硅颗粒的制备方法。将选取的并清洗干净的硅片及收集装置置于加工腔内，在一定气压范围的氮气或惰性气体气氛环境下，飞秒激光辐照硅片制备窄带发光黄色纳米硅颗粒。实验表明收集物中不含制备环境中的气体元素杂质，主要为粒径1‑4nm的单晶硅纳米颗粒，其间夹杂一些粒径为40‑240nm的硅单晶大颗粒，室温可见光范围内表现出窄带发光性质。本发明方法简单易行，绿色环保；在飞秒激光辐照硅片过程中调控气压，优化了在气相中对纳米颗粒的收集，同时能够将颗粒粒径控制于很小范围内且不引入杂质，提高了收集的硅纳米颗粒的纯度。