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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101562216A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910069035.X
申请日：2009-05-27
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , C23C18/02
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种具有类金字塔结构的绒面ZnO薄膜的制备方法。本发明以醋酸锌作为Zn源，硝酸铟或醋酸铟作为掺杂铟源，硝酸铝或醋酸铝作为掺杂铝源，硝酸镓或醋酸镓作为掺杂镓源，以无水乙醇和/或水作为溶剂，分别配置成一定浓度的锌源溶液和掺杂源溶液，并混合，再向其中加入冰乙酸；用高纯N2或空气作为载气，把上述反应液输送至薄膜沉积室内进行生长。衬底可为玻璃或不锈钢等，生长温度为300℃－550℃。本发明在不需要B2H6掺杂的情况下，采用廉价无毒的化学药品，利用低成本的超声雾化设备直接获得具有光散射特征的绒面结构的ZnO薄膜；因此本发明对环境不会造成污染，属于“绿色”环保型技术，该方法可适合大面积(例如S＝1.2m×0.6m)ZnO透明导电薄膜的制备。
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公开(公告)号：CN102157609A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110024385.1
申请日：2011-01-21
Applicant: 南开大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种改善ZnO透明导电薄膜形貌的方法，在采用超声喷雾技术制备薄膜太阳电池用透明导电薄膜过程中，通过采用氢氟酸腐蚀的化学方法来控制玻璃衬底表面形貌，进而实现对在其上生长的ZnO透明导电薄膜形貌的控制，具体方法是：1）采用质量百分比浓度为（0.5-10）%的HF溶液腐蚀玻璃衬底，腐蚀时间为（1-30）min；2）采用超声喷雾热分解法在HF溶液腐蚀过的玻璃衬底上生长掺杂ZnO透明导电薄膜。本发明的优点是该方法成本低、容易操作，可有效控制制备薄膜的形貌，进而控制其绒度，对提高硅薄膜太阳电池的陷光能力具有重要的作用。
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公开(公告)号：CN101562216B
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200910069035.X
申请日：2009-05-27
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , C23C18/02
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种具有类金字塔结构的绒面ZnO薄膜的制备方法。本发明以醋酸锌作为Zn源，硝酸铟或醋酸铟作为掺杂铟源，硝酸铝或醋酸铝作为掺杂铝源，硝酸镓或醋酸镓作为掺杂镓源，以无水乙醇和/或水作为溶剂，分别配置成一定浓度的锌源溶液和掺杂源溶液，并混合，再向其中加入冰乙酸；用高纯N2或空气作为载气，把上述反应液输送至薄膜沉积室内进行生长。衬底可为玻璃或不锈钢等，生长温度为300℃-550℃。本发明在不需要B2H6掺杂的情况下，采用廉价无毒的化学药品，利用低成本的超声雾化设备直接获得具有光散射特征的绒面结构的ZnO薄膜；因此本发明对环境不会造成污染，属于“绿色”环保型技术，该方法可适合大面积(例如S＝1.2m×0.6m)ZnO透明导电薄膜的制备。
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公开(公告)号：CN102237451B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201110189292.4
申请日：2011-07-07
Applicant: 南开大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种改善ZnO薄膜形貌和电学特性的方法，步骤如下：1）以醋酸锌为Zn源、醋酸铟为掺杂铟源、水和无水乙醇的混合液为溶剂，将醋酸锌加入溶剂中制得前驱物混合液并加入冰乙酸，以空气为载气，采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备具有三角块形貌的铟掺杂ZnO薄膜；2）以锌铝合金为靶材，采用磁控溅射法在上述铟掺杂ZnO薄膜上制备铝掺杂ZnO薄膜。本发明的优点是：制备的铟掺杂ZnO/铝掺杂ZnO复合薄膜具有圆锥型绒面形貌，消除了棱角和锐利的尖峰，对入射光具有较强的散射作用，同时利用了溅射技术制备的ZnO薄膜具有低电阻率的特点，使ZnO透明薄膜的导电特性得到明显的提高和改善。
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公开(公告)号：CN102237451A
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201110189292.4
申请日：2011-07-07
Applicant: 南开大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种改善ZnO薄膜形貌和电学特性的方法，步骤如下：1）以醋酸锌为Zn源、醋酸铟为掺杂铟源、水和无水乙醇的混合液为溶剂，将醋酸锌加入溶剂中制得前驱物混合液并加入冰乙酸，以空气为载气，采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备具有三角块形貌的铟掺杂ZnO薄膜；2）以锌铝合金为靶材，采用磁控溅射法在上述铟掺杂ZnO薄膜上制备铝掺杂ZnO薄膜。本发明的优点是：制备的铟掺杂ZnO/铝掺杂ZnO复合薄膜具有圆锥型绒面形貌，消除了棱角和锐利的尖峰，对入射光具有较强的散射作用，同时利用了溅射技术制备的ZnO薄膜具有低电阻率的特点，使ZnO透明薄膜的导电特性得到明显的提高和改善。
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