磁吸式抛光夹具和抛光装置

    公开(公告)号:CN110385632B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN201910655129.9

    申请日:2019-07-19

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明属于抛光技术领域,具体涉及一种磁吸式抛光夹具和抛光装置。本发明为了解决传统抛光过程中上片和取片工序繁琐、耗时长且易碎片的问题,本发明提出的磁吸式抛光夹具包括夹具本体,所述夹具本体的正面开设有第一止口,第一止口面上用于放置待抛光件;所述夹具本体的背面开设有多个盲孔,盲孔内用于放置磁体;在待抛光件放置于第一止口面上之后,放置于盲孔内的磁体能够将待抛光件吸附于第一止口面上。本发明的磁吸式抛光夹具采用磁力吸附放片和取片,无需采用粘接剂,无需烘箱加热,在室温下即可完成放片和取片工序。不仅在取片和装片的过程中用时更短,而且解决了传统抛光机采用粘接剂放片和取片时容易碎片的问题。

    一种圆锅夹具与一种镀膜装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110387530A

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201910747796.X

    申请日:2019-08-14

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本申请提供一种圆锅夹具与一种镀膜装置,其中,所述圆锅夹具包括:旋转机构、圆锅夹具轨道、圆锅夹具本体、晶圆夹具以及行星旋转机构;所述圆锅夹具本体向心的一侧装有所述晶圆夹具,所述圆锅夹具本体与所述晶圆夹具通过晶圆夹具轴承连接;在所述圆锅夹具本体公转与自转时,所述圆锅夹具本体通过所述行星旋转机构带动所述晶圆夹具绕所述晶圆夹具轴承进行与所述圆锅夹具本体自转方向相反的自转运动。本申请的圆锅夹具通过圆锅夹具本体的公转、自转以及晶圆夹具的自转运动,能够大幅提高晶圆镀膜的均匀性。

    霍尔元件芯片及其制作方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110416403A

    公开(公告)日:2019-11-05

    申请号:CN201910730354.4

    申请日:2019-08-08

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明公开了一种霍尔元件芯片及其制作方法,采用铝电极以及过渡层的结构和锑化铟薄膜形成欧姆接触,相对于采用金电极的现有技术方案,大大降低了金属电极材料的成本。另外,金电极需要金丝球超声波压焊工艺,金的熔点较高,需要将霍尔元件芯片置于惰性气体保护环境中加热,然后完成打线工艺,而本发明技术方案中铝电极可以在常温和空气中通过铝超声波压焊机完成打线工艺,以实现和框架的电连接,无需高温条件以及惰性气体保护环境,制作工艺简单,进一步降低了制作成本。

    一种以双光源多种滤色片实现高光谱匹配度的太阳模拟器

    公开(公告)号:CN104266101A

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201410553207.1

    申请日:2014-10-17

    Applicant: 南开大学

    CPC classification number: F21S2/00 F21V9/40 F21V13/14 F21V19/00 H02S50/00

    Abstract: 一种以双光源多种滤色片实现高光谱匹配度太阳模拟器,由氙灯及其椭球面反射镜、氙灯滤色片组、卤素灯及其椭球面反射镜、卤素灯滤色片组、半透半反射镜、积分器、快门、平面反射镜、准直透镜和工作平台组成,氙灯及其椭球面反射镜和卤素灯及其椭球面反射镜的反射光线互相垂直;积分器接受来自半透半反射镜的光线并通过快门照射到平面反射镜上;平面反射镜反射的光线经准直透镜形成模拟太阳光照射到工作平台上。本发明的优点是:该太阳模拟器采用氙灯和卤素灯两种不同的人造光源,分别经多种滤色片组滤光,实现光谱匹配度小于±5%太阳模拟器,优于国际标准IEC-60904-9的ClassA的±25%的指标,达到了国际先进水平。

    磁吸式抛光夹具和抛光装置

    公开(公告)号:CN110385632A

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201910655129.9

    申请日:2019-07-19

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明属于抛光技术领域,具体涉及一种磁吸式抛光夹具和抛光装置。本发明为了解决传统抛光过程中上片和取片工序繁琐、耗时长且易碎片的问题,本发明提出的磁吸式抛光夹具包括夹具本体,所述夹具本体的正面开设有第一止口,第一止口面上用于放置待抛光件;所述夹具本体的背面开设有多个盲孔,盲孔内用于放置磁体;在待抛光件放置于第一止口面上之后,放置于盲孔内的磁体能够将待抛光件吸附于第一止口面上。本发明的磁吸式抛光夹具采用磁力吸附放片和取片,无需采用粘接剂,无需烘箱加热,在室温下即可完成放片和取片工序。不仅在取片和装片的过程中用时更短,而且解决了传统抛光机采用粘接剂放片和取片时容易碎片的问题。

    霍尔元件芯片
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209929344U

    公开(公告)日:2020-01-10

    申请号:CN201921282606.3

    申请日:2019-08-08

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种霍尔元件芯片,采用铝电极以及过渡层的结构和锑化铟薄膜形成欧姆接触,相对于采用金电极的现有技术方案,大大降低了金属电极材料的成本。另外,金电极需要金丝球超声波压焊工艺,金的熔点较高,需要将霍尔元件芯片置于惰性气体保护环境中加热,然后完成打线工艺,而本实用新型技术方案中铝电极可以在常温和空气中通过铝超声波压焊机完成打线工艺,以实现和框架的电连接,无需高温条件以及惰性气体保护环境,制作工艺简单,进一步降低了制作成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种圆锅夹具与一种镀膜装置

    公开(公告)号:CN210314472U

    公开(公告)日:2020-04-14

    申请号:CN201921313365.4

    申请日:2019-08-14

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本申请提供一种圆锅夹具与一种镀膜装置,其中,所述圆锅夹具包括:旋转机构、圆锅夹具轨道、圆锅夹具本体、晶圆夹具以及行星旋转机构;所述圆锅夹具本体向心的一侧装有所述晶圆夹具,所述圆锅夹具本体与所述晶圆夹具通过晶圆夹具轴承连接;在所述圆锅夹具本体公转与自转时,所述圆锅夹具本体通过所述行星旋转机构带动所述晶圆夹具绕所述晶圆夹具轴承进行与所述圆锅夹具本体自转方向相反的自转运动。本申请的圆锅夹具通过圆锅夹具本体的公转、自转以及晶圆夹具的自转运动,能够大幅提高晶圆镀膜的均匀性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    磁吸式抛光夹具和抛光装置

    公开(公告)号:CN210678251U

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN201921139558.2

    申请日:2019-07-19

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本实用新型属于抛光技术领域,具体涉及一种磁吸式抛光夹具和抛光装置。本实用新型为了解决传统抛光过程中上片和取片工序繁琐、耗时长且易碎片的问题,本实用新型提出的磁吸式抛光夹具包括夹具本体,所述夹具本体的正面开设有第一止口,第一止口面上用于放置待抛光件;所述夹具本体的背面开设有多个盲孔,盲孔内用于放置磁体;在待抛光件放置于第一止口面上之后,放置于盲孔内的磁体能够将待抛光件吸附于第一止口面上。本实用新型的磁吸式抛光夹具采用磁力吸附放片和取片,无需采用粘接剂,无需烘箱加热,在室温下即可完成放片和取片工序。不仅在取片和装片的过程中用时更短,而且解决了传统抛光机采用粘接剂放片和取片时容易碎片的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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