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公开(公告)号:CN104964650A
公开(公告)日:2015-10-07
申请号:CN201510361898.X
申请日:2015-06-26
Applicant: 南开大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种测量透明球形空腔容器厚度的方法,该方法基于光的干涉原理,主要通过光场干涉现象,确定物体厚度与干涉图样的关系。该方法的系统由氦氖激光器、扩束系统、半透半反镜、小孔光阑、接收屏及测量导轨、载物台及透明球形空腔容器组成。氦氖激光器产生的激光通过半透半反镜先反射至透明球形空腔容器表面;然后透明球形空腔容器内、外表面分别反射光至接收屏产生干涉场;对干涉场中的条纹图样进行接收并测量,从而提取出干涉场的信息。本方法能够实现透明球形空腔容器厚度的非接触式无损测量。本方法的测量过程无需镀膜、注入液体等其他辅助测量方式,具有装置简单,可操作性强的特点。