公开(公告)号：CN106876523A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201710127413.X

申请日：2017-03-01

Applicant: 南开大学

Inventor： 吴强 ,  曾强 ,  张春玲

IPC: H01L31/18

CPC classification number: H01L31/18

Abstract: 本发明提出一种对表面过饱和掺杂光电探测器进行表面钝化的方法，该方法在表面过饱和掺杂光电探测器的表面覆盖两层氢含量不同的非晶硅薄膜。非晶硅薄膜通过等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)形成。本发明的双层含氢非晶硅薄膜结构一方面能够与器件感光面的表面悬挂键结合，减少器件表面的电子与空穴的复合，降低暗电流，另一方面隔绝了空气的污染，具有结构简单，钝化效果显著的优点。

公开(公告)号：CN106876523B

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201710127413.X

申请日：2017-03-01

Applicant: 南开大学

Inventor： 吴强 ,  曾强 ,  张春玲 ,  姚江宏 ,  刘丹 ,  齐继伟 ,  许京军

IPC: H01L31/18

Abstract: 本发明提出一种对表面过饱和掺杂光电探测器进行表面钝化的方法，该方法在表面过饱和掺杂光电探测器的表面覆盖两层氢含量不同的非晶硅薄膜。非晶硅薄膜通过等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)形成。本发明的双层含氢非晶硅薄膜结构一方面能够与器件感光面的表面悬挂键结合，减少器件表面的电子与空穴的复合，降低暗电流，另一方面隔绝了空气的污染，具有结构简单，钝化效果显著的优点。

公开(公告)号：CN1063688A

公开(公告)日：1992-08-19

申请号：CN91100541.2

申请日：1991-01-28

Applicant: 南开大学

Inventor： 陈彬 ,  刘凤萍 ,  曾强 ,  杨华铮 ,  刘准 ,  张春香

IPC: C07D285/16 ,  A01N43/88

Abstract: 本发明是制备苯达松除草剂的一种新工艺，采用生产易得的靛红酐为原料，用一种溶剂(例如二氯乙烷)经一步反应得到纯度为97％以上的产品。此工艺操作简便，三废少，成本低廉，总收率在80％以上。