一种微透镜阵列的制作方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119375992A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202411624961.X

    申请日:2024-11-14

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明属于微透镜阵列制造相关技术,公开发明了一种微透镜阵列的制作方法,包括通孔材料和光学UV胶;所述通孔材料为硅片,在可见光波段透过率低的同时还能利用激光通孔技术实现通孔,光学UV胶用于制作微透镜的材料,具有折射率高、透光性能良好、紫外可固化的优点,方便制作。该方法包括:利用硅激光通孔技术对硅片加工;加工后的硅片作为微透镜阵列的基底;利用液态光学UV胶制作透镜;利用紫外光进行固化即可实现每个透镜具有一定间隔的微透镜阵列。本发明的微透镜阵列及其制备方法,制作方便,制作成本低,微透镜之间的间隔有效解决了现有微透镜阵列串扰太大的问题。

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