公开(公告)号：CN114678244A

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202210300281.7

申请日：2022-03-24

Applicant: 南开大学

Inventor： 付学文 ,  张亚卿 ,  陈祥 ,  于耀诚 ,  刘芳

IPC: H01J37/065 ,  H01J37/29

Abstract: 本发明公开了一种超快扫描电子显微镜系统及其应用方法。所述系统包括：扫描电镜，将第一近红外飞秒激光转换为定向聚焦的紫外飞秒激光并经阴极激发产生探测用光电子脉冲的探测激光系统，将第二近红外飞秒激光转换为波长可调的定向聚焦的泵浦用飞秒激光脉冲的泵浦激光系统，对所述探测用光电子脉冲及所述泵浦用飞秒激光脉冲达到待测样品表面的光程差进行调节的光学延迟线，对瞬态二次电子信号进行探测的二次电子探测系统，该系统可在超高时空分辨尺度下实时探测材料表面激发态载流子动力学信息。

公开(公告)号：CN117704962A

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202211086834.X

申请日：2022-09-07

Applicant: 南开大学

Inventor： 付学文 ,  张亚卿 ,  于耀诚 ,  陈祥 ,  刘芳

IPC: G01B11/00 ,  G01N23/2206 ,  G01N23/2254

Abstract: 本发提供一种原位测量超快扫描电子显微镜系统中泵浦光斑的方法，包括：(1)将泵浦激光聚焦于导电碳胶的平滑表面得到烧蚀光斑，分析确定激光入射在样品表面的角度，以及聚焦于样品表面的具体位置、作用范围、形状、光强分布；(2)使样品达到最佳激发状态，得到在激光辐照下材料表面的某一特定激发位置、特定激发范围中的光生非平衡载流子的完整超快动力学过程；(3)分析烧蚀光斑尺寸与泵浦激光单脉冲能量或者能量密度之间的关系，得到聚焦泵浦光斑的实际参数，并通过SEM图像呈现出的烧蚀光斑的烧蚀情况直观得到泵浦激光光斑的实际情况。本发明能大大简化实验步骤，有效排除在进行额外的外部独立操作时对样品引起的不利影响。

公开(公告)号：CN114678244B

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202210300281.7

申请日：2022-03-24

Applicant: 南开大学

Inventor： 付学文 ,  张亚卿 ,  陈祥 ,  于耀诚 ,  刘芳

IPC: H01J37/065 ,  H01J37/29

Abstract: 本发明公开了一种超快扫描电子显微镜系统及其应用方法。所述系统包括：扫描电镜，将第一近红外飞秒激光转换为定向聚焦的紫外飞秒激光并经阴极激发产生探测用光电子脉冲的探测激光系统，将第二近红外飞秒激光转换为波长可调的定向聚焦的泵浦用飞秒激光脉冲的泵浦激光系统，对所述探测用光电子脉冲及所述泵浦用飞秒激光脉冲达到待测样品表面的光程差进行调节的光学延迟线，对瞬态二次电子信号进行探测的二次电子探测系统，该系统可在超高时空分辨尺度下实时探测材料表面激发态载流子动力学信息。

公开(公告)号：CN115452873B

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202211145589.5

申请日：2022-09-20

Applicant: 南开大学

Inventor： 付学文 ,  于耀诚 ,  张亚卿 ,  陈祥 ,  刘芳

IPC: G01N23/2254 ,  G01N23/2206

Abstract: 本发明提供了一种超快扫描电子显微镜数据自动采集系统及方法，数据采集计算机同时与光学延迟线和SEM控制计算机进行实时通讯，以起到二者的即时控制和相互触发的作用，它们与SEM等实验设备共同组成了SUEM数据自动采集系统。在数据采集计算机中，本发明通过分别调用相关接口控制光学延迟线的移动和SEM的图像采集功能来实现SUEM的数据自动采集工作，实验人员只需要在数据采集计算机中，启动相应数据采集系统，设置好相应的数据采集参数，并连接延迟线和SEM，设定好SEM图像采集参数，即可进行一键式数据自动采集工作。本发明解决了当前超快扫描电子显微镜数据人工采集的重复性高、时间成本大和易操作失误等问题。

公开(公告)号：CN115452873A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202211145589.5

申请日：2022-09-20

Applicant: 南开大学

Inventor： 付学文 ,  于耀诚 ,  张亚卿 ,  陈祥 ,  刘芳

IPC: G01N23/2254 ,  G01N23/2206

Abstract: 本发明提供了一种超快扫描电子显微镜数据自动采集系统及方法，数据采集计算机同时与光学延迟线和SEM控制计算机进行实时通讯，以起到二者的即时控制和相互触发的作用，它们与SEM等实验设备共同组成了SUEM数据自动采集系统。在数据采集计算机中，本发明通过分别调用相关接口控制光学延迟线的移动和SEM的图像采集功能来实现SUEM的数据自动采集工作，实验人员只需要在数据采集计算机中，启动相应数据采集系统，设置好相应的数据采集参数，并连接延迟线和SEM，设定好SEM图像采集参数，即可进行一键式数据自动采集工作。本发明解决了当前超快扫描电子显微镜数据人工采集的重复性高、时间成本大和易操作失误等问题。