公开(公告)号：CN106246512B

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201610695410.1

申请日：2016-08-20

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 钱芸生 ,  宋诚鑫 ,  赵慧明 ,  汤狸明 ,  金戈 ,  邱亚峰 ,  张振

IPC: F04B41/06 ,  F04B37/14 ,  F04B39/10 ,  G01M13/00

Abstract: 本发明提供一种用于大面积MCP清刷测试的真空装置，包括分子泵、闸板阀、支撑台架、真空室上盖、转轴组件、真空室底盘组件、转盘、接线柱。支撑台架水平设置且承载面设置若干通孔，真空室底盘组件设置于支撑台架上表面且端面设置与支撑台架一通孔匹配的分子泵通孔，真空室上盖上设置一观察窗且真空室上盖与真空室底盘同心闭合并于非工作状态下可分离，转轴组件穿过真空室底盘组件，转盘设置于真空室内部用于承载MCP及荧光屏组件且在转轴组件的驱动下转动，闸板阀设置于支撑台架下表面且设置一可闭合或打开的阀孔且阀孔与分子泵通孔对应，分子泵设置于闸板阀下端面且分子泵抽气口与阀孔对应，接线柱沿转盘的周向设置于转盘上。

公开(公告)号：CN106246512A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610695410.1

申请日：2016-08-20

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 钱芸生 ,  宋诚鑫 ,  赵慧明 ,  汤狸明 ,  金戈 ,  邱亚峰 ,  张振

IPC: F04B41/06 ,  F04B37/14 ,  F04B39/10 ,  G01M13/00

Abstract: 本发明提供一种用于大面积MCP清刷测试的真空装置，包括分子泵、闸板阀、支撑台架、真空室上盖、转轴组件、真空室底盘组件、转盘、接线柱。支撑台架水平设置且承载面设置若干通孔，真空室底盘组件设置于支撑台架上表面且端面设置与支撑台架一通孔匹配的分子泵通孔，真空室上盖上设置一观察窗且真空室上盖与真空室底盘同心闭合并于非工作状态下可分离，转轴组件穿过真空室底盘组件，转盘设置于真空室内部用于承载MCP及荧光屏组件且在转轴组件的驱动下转动，闸板阀设置于支撑台架下表面且设置一可闭合或打开的阀孔且阀孔与分子泵通孔对应，分子泵设置于闸板阀下端面且分子泵抽气口与阀孔对应，接线柱沿转盘的周向设置于转盘上。