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公开(公告)号：CN104976962B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201410141304.X
申请日：2014-04-09
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于共轭差分法测量平面镜绝对面形的方法，包括以下步骤：待测平面镜与标准平面镜在干涉仪的CCD上形成干涉图像，判断标准平面镜与待测平面镜在干涉仪的CCD上所成光斑的大小，使标准平面镜的光斑大于待测平面镜的光斑；确定干涉仪的CCD中1个像素所对应的待测平面镜平移量δ，δ>0；令干涉仪的光轴方向为z轴，在x轴、y轴的正负方向进行四步测试，分别记下波前数据Φ(x+δ,y)、Φ(x‑δ,y)、Φ(x,y+δ)、Φ(x,y‑δ)；根据测得的波前数据，求得待测平面镜的面形梯度；利用波面复原法，根据待测平面镜的面形梯度复原出待测平面镜的面形w。本发明提高了微分逼近的精度，避免了分步测试之间的耦合，从而提高了测试的稳定性，且本发明还可用来测量柱面镜、锥面镜、球面镜的绝对面形。
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公开(公告)号：CN106323191A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201510348879.3
申请日：2015-06-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种共轭差分法检测柱面镜绝对面形的装置，包括气浮光学抗震平台、干涉仪、标准平面镜、柱面CGH、精密电控旋转台、精密三维位移台、万向调节镜架、待测柱面、连接底板、连接片和连接杆,利用该装置可对待测柱面实现在沿母线方向及绕中心轴方向上的共轭运动，从而实现对柱面面形的绝对检测。通过测得柱面这两个方向上的差分量，通过波面复原算法即可恢复出待测波面。本发明结构简单、易于装调、抗震性能好。
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公开(公告)号：CN104976962A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201410141304.X
申请日：2014-04-09
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于共轭差分法测量平面镜绝对面形的方法，包括以下步骤：待测平面镜与标准平面镜在干涉仪的CCD上形成干涉图像，判断标准平面镜与待测平面镜在干涉仪的CCD上所成光斑的大小，使标准平面镜的光斑大于待测平面镜的光斑；确定干涉仪的CCD中1个像素所对应的待测平面镜平移量δ，δ>0；令干涉仪的光轴方向为z轴，在x轴、y轴的正负方向进行四步测试，分别记下波前数据Φ(x+δ,y)、Φ(x-δ,y)、Φ(x,y+δ)、Φ(x,y-δ)；根据测得的波前数据，求得待测平面镜的面形梯度；利用波面复原法，根据待测平面镜的面形梯度复原出待测平面镜的面形w。本发明提高了微分逼近的精度，避免了分步测试之间的耦合，从而提高了测试的稳定性，且本发明还可用来测量柱面镜、锥面镜、球面镜的绝对面形。
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