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公开(公告)号：CN103406657A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310346506.3
申请日：2013-08-09
Applicant: 南京理工大学
IPC: B23K15/00
Abstract: 本发明公开了一种用于电子束加工的电磁偏转扫描线圈。该电磁偏转扫描线圈包括磁芯骨架和线圈绕组（9），其中磁芯骨架包括一体成型的磁环（7）和磁极（8），线圈绕组（9）分别绕制于磁芯骨架的各个磁极（8），磁极（8）的数量为4N个且N为大于等于3的整数，所述磁芯骨架的磁极（8）为软磁材料。这种结构的电磁偏转扫描线圈提高了电子束偏转扫描磁场的均匀性，减小了线圈的尺寸和重量，节约了制造成本，此外采用软磁材料提高了电子束的偏转扫描频率，降低了涡流损耗。
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