公开(公告)号：CN111829958A

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN202010678241.7

申请日：2020-07-15

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 倪辰荫 ,  刘念

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明公开了一种基于光偏转原理的光纤耦合式表面扰动探测系统，包括：探测光产生模块，用于在样品表面产生探测光；表面扰动激发模块，用于激发样品表面产生表面扰动；扰动探测模块，用于探测扰动信息；扫描模块，用于实现样品表面的扫描扰动及探测。连续光纤激光器发出的探测光，经环形器传输到探测头，再聚焦到样品表面。当样品表面由于外部作用产生形变时，从样品表面反射的探测光发生偏转，耦合进探测头的光强减小，从而实现表面扰动探测。本发明利用光纤组成探测系统，降低了环境噪声的影响，且结构更简单，方便移动；在光纤耦合处实现探测光偏转情况的检测，相较自由空间光偏转技术，可以探测各种方向的偏转。

公开(公告)号：CN111829958B

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202010678241.7

申请日：2020-07-15

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 倪辰荫 ,  刘念

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明公开了一种基于光偏转原理的光纤耦合式表面扰动探测系统，包括：探测光产生模块，用于在样品表面产生探测光；表面扰动激发模块，用于激发样品表面产生表面扰动；扰动探测模块，用于探测扰动信息；扫描模块，用于实现样品表面的扫描扰动及探测。连续光纤激光器发出的探测光，经环形器传输到探测头，再聚焦到样品表面。当样品表面由于外部作用产生形变时，从样品表面反射的探测光发生偏转，耦合进探测头的光强减小，从而实现表面扰动探测。本发明利用光纤组成探测系统，降低了环境噪声的影响，且结构更简单，方便移动；在光纤耦合处实现探测光偏转情况的检测，相较自由空间光偏转技术，可以探测各种方向的偏转。