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公开(公告)号：CN113917187B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202111173680.3
申请日：2021-10-08
Applicant: 南京林业大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 一种可重构的加速度传感器，包括：衬底；折纸结构梁，设置在衬底上，所述折纸结构梁包括第一折叠薄膜结构、第二折叠薄膜结构、第三折叠薄膜结构、第四折叠薄膜结构，所述折纸结构梁通过第一V形梁、第二V形梁固定连接于所述衬底；悬浮电极设置于所述衬底与所述折纸结构梁之间，所述悬浮电极的两端分别与第一弹簧结构和第二弹簧结构连接；第一弹簧结构和第二弹簧结构分别通过第三V形梁、第四V形梁固定连接于所述衬底；其中，所述折纸结构梁的延伸方向与所述第一弹簧结构、第二弹簧结构的延伸方向相互交叉。本发明通过控制V形梁使加速度传感器的灵敏度和测量范围具有可重构性，提高了加速度传感器的灵敏度、检测范围。
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公开(公告)号：CN113917186B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202111242245.1
申请日：2021-10-25
Applicant: 南京林业大学
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明提出一种加速度传感器，包括：基板；质量块，悬空设置在所述基板的上方区域；四个锚区围绕所述质量块设置在所述基板上；四个连接杆分别对应连接四个锚区与所述质量块；四个电容分别对应设置在四个连接杆的端部区域；四个弹簧梁分别连接于四个连接杆与四个锚区之间；四个电感分别对应临近四个锚区设置，且分别与四个电容组成LC谐振回路。通过设计四个电容的上下极板的重叠面积可以控制该加速度传感器的灵敏度以及量程，这使得器件设计十分灵活。同时，该加速度传感器还具有结构简单、体积小、工艺兼容等优势。
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公开(公告)号：CN113917186A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111242245.1
申请日：2021-10-25
Applicant: 南京林业大学
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明提出一种加速度传感器，包括：基板；质量块，悬空设置在所述基板的上方区域；四个锚区围绕所述质量块设置在所述基板上；四个连接杆分别对应连接四个锚区与所述质量块；四个电容分别对应设置在四个连接杆的端部区域；四个弹簧梁分别连接于四个连接杆与四个锚区之间；四个电感分别对应临近四个锚区设置，且分别与四个电容组成LC谐振回路。通过设计四个电容的上下极板的重叠面积可以控制该加速度传感器的灵敏度以及量程，这使得器件设计十分灵活。同时，该加速度传感器还具有结构简单、体积小、工艺兼容等优势。
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公开(公告)号：CN113917187A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111173680.3
申请日：2021-10-08
Applicant: 南京林业大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 一种可重构的加速度传感器，包括：衬底；折纸结构梁，设置在衬底上，所述折纸结构梁包括第一折叠薄膜结构、第二折叠薄膜结构、第三折叠薄膜结构、第四折叠薄膜结构，所述折纸结构梁通过第一V形梁、第二V形梁固定连接于所述衬底；悬浮电极设置于所述衬底与所述折纸结构梁之间，所述悬浮电极的两端分别与第一弹簧结构和第二弹簧结构连接；第一弹簧结构和第二弹簧结构分别通过第三V形梁、第四V形梁固定连接于所述衬底；其中，所述折纸结构梁的延伸方向与所述第一弹簧结构、第二弹簧结构的延伸方向相互交叉。本发明通过控制V形梁使加速度传感器的灵敏度和测量范围具有可重构性，提高了加速度传感器的灵敏度、检测范围。
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