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公开(公告)号：CN104037320A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410229816.1
申请日：2014-05-28
Applicant: 南京益得冠电子科技有限公司 , 南京工业大学
IPC: H01L41/39 , H01L41/318
Abstract: 一种大面积ZnO纳微发电机的制造方法，在衬底上沉积Au电极；旋涂光刻胶，形成Y方向的光刻胶纳微米线结构；通过离子束刻蚀刻蚀掉没有光刻胶保护的Au电极材料，然后沉积硬掩膜材料氧化铝，刻蚀掉侧壁的氧化铝材料，以暴露光刻胶；用丙酮剥离掉光刻胶及上面的Al2O3，利用溶胶凝胶法沉积ZnO薄膜；用离子束刻蚀和丙酮进行光刻胶剥离形成ZnO纳米线；旋涂光刻胶，经曝光和成型后露出两端的ZnO纳米线；利用电子束蒸发沉积Pt电极；用丙酮剥离掉光刻胶，刻蚀去除Al2O3，压电纳米发电机结构；暴露压电纳米发电机到振动源，产生压电转换和纳微压电发电。达到低成本、高机械能-电能转化纳米发电机的大面积可控生产和加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104649257A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410776794.0
申请日：2014-12-15
Applicant: 南京工业大学 , 南京益得冠电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多孔径石墨烯膜的制造方法。该方法利用能量束对具有晶格缺陷的石墨烯膜进行辐射，使石墨烯碳环六角结构中具有晶格缺陷的碳键合被打断，产生孔径，从而生成多孔径石墨烯膜；并通过调整晶格缺陷的浓度和/或能量束的辐射强度对所述孔径的大小进行控制。本发明还公开了一种基于上述方法制造的多孔径石墨烯的气体分离元件。本发明首次实际制备出了具有气体渗透孔径的石墨烯膜，成功实现了石墨烯膜在气体分离方面的应用；本发明可根据需要对孔径大小进行控制，且制备工艺简单，实现成本低廉，适于大规模工业应用；本发明的气体分离元件对气体分子具有极强的选择性和高渗透率，经实验验证，在常温下对H2/N2的分离系数高达260。
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公开(公告)号：CN104034763A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410230475.X
申请日：2014-05-28
Applicant: 南京工业大学 , 南京益得冠电子科技有限公司
Abstract: 一种混杂贵金属掺粒子和金属氧化物薄膜的集成气体传感器及其制备方法，包括基片、加热电极、导热绝缘层、检测电极、金属氧化物薄膜，加热电极制备在基片上、导热绝缘层位于加热电极和检测电极之间，金属氧化物薄膜覆盖在检测电极上，其特征在于：在金属氧化物薄膜上沉积有贵金属粒子，贵金属粒子为单原子覆盖在氧化物薄膜上，覆盖度为金属氧化物薄膜表面积的0.05%-10%，颗粒尺寸为0.2nm-0.4nm。本发明能有效提高金属氧化物薄膜气体灵敏度和稳定性，通过掺杂贵金属粒子，测试200ppm乙醇气体，灵敏度由纯金属氧化物的1.51提高到贵金属-金属氧化物的9.46；同时，金属氧化物薄膜的气敏反应温度只需要150℃。
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公开(公告)号：CN104034758A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410230643.5
申请日：2014-05-28
Applicant: 南京益得冠电子科技有限公司 , 南京工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种混杂石墨烯膜、贵金属粒子和金属氧化物材料的集成氢气传感器及其制备方法，传感器包括基片、加热电极、导热绝缘层、检测电极，加热电极位于基片上，导热绝缘层在加热电极与检测电极之间，还包括沉积在检测电极上的金属氧化物薄膜，金属氧化物薄膜表面上沉积的贵金属粒子，石墨烯膜覆盖在沉积有贵金属粒子的金属氧化物薄膜上。所述贵金属粒子为单原子覆盖在金属氧化物薄膜上，覆盖度为0.05%-10%，颗粒尺寸为0.2nm-0.4nm，随机均匀排列。所述金属氧化物薄膜厚度为10nm-2μm。所述石墨烯膜厚度0.5-1.2nm。本发明提供的集成氢气传感器能够同时实现对氢气检测和监测的高灵敏度和高选择性。
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公开(公告)号：CN104037320B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201410229816.1
申请日：2014-05-28
Applicant: 南京益得冠电子科技有限公司 , 南京工业大学
IPC: H01L41/39 , H01L41/318
Abstract: 一种大面积ZnO纳微发电机的制造方法，在衬底上沉积Au电极；旋涂光刻胶，形成Y方向的光刻胶纳微米线结构；通过离子束刻蚀刻蚀掉没有光刻胶保护的Au电极材料，然后沉积硬掩膜材料氧化铝，刻蚀掉侧壁的氧化铝材料，以暴露光刻胶；用丙酮剥离掉光刻胶及上面的Al2O3，利用溶胶凝胶法沉积ZnO薄膜；用离子束刻蚀和丙酮进行光刻胶剥离形成ZnO纳米线；旋涂光刻胶，经曝光和成型后露出两端的ZnO纳米线；利用电子束蒸发沉积Pt电极；用丙酮剥离掉光刻胶，刻蚀去除Al2O3，压电纳米发电机结构；暴露压电纳米发电机到振动源，产生压电转换和纳微压电发电。达到低成本、高机械能‑电能转化纳米发电机的大面积可控生产和加工。
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公开(公告)号：CN104524990A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410776110.7
申请日：2014-12-15
Applicant: 南京工业大学 , 南京益得冠电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种气体分离膜及其制备方法，属于膜分离技术领域。本发明的气体分离膜，包括多孔基底，在多孔基底的至少一个表面上附着有氧化石墨烯与聚合物支化聚乙烯亚胺混合而成的复合膜。本发明的气体分离膜的制备方法，利用片状的氧化石墨烯材料分散于水溶液中，然后和聚合物支化聚乙烯亚胺溶液通过层层交叠的涂覆方法在多孔基底上制备单层或多层复合膜。本发明还公开了一种膜组件单元使用上述气体分离膜的膜式气体分离装置。本发明利用了层状石墨烯材料特有的分子传输特性，打破了气体分离膜中的渗透性和选择性之间的限制关系，展现出了优异的气体分离性能。本发明工艺简单经济，应用范围广，适于规模化制备。
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