一种用于掩膜电解加工的自吸式冲液加工装置

    公开(公告)号:CN114367711A

    公开(公告)日:2022-04-19

    申请号:CN202210144848.6

    申请日:2022-02-17

    Abstract: 本发明公开了一种用于掩膜电解加工的自吸式冲液加工装置,包括掩模板、夹具体、旋转轮以及孔板式阴极。夹具体设有进液口和出液口;所述的掩模板与夹具体形成相对密闭的电解液流道腔;所述电解液流道腔被孔板式阴极隔成排液腔和反应腔,所述排液腔包括一个以上的独立封闭的泵室,泵室内设有旋转轮,泵室设有出液口,所述出液口位于旋转轮背离孔板式阴极的一侧;所述进液口连通反应腔且只能够使电解液单向进入,所述旋转轮只能够使电解液单向流出出液口;所述旋转轮转动时,电解液从反应腔透过孔板式阴极吸入泵室。本发明通过在排液腔内通过旋转轮和隔板形成自吸泵抽取电解液,实现自吸式冲液掩膜电解加工,提高电解液传质速率。

    一种用于掩膜电解加工的柱塞式冲液加工装置

    公开(公告)号:CN114453689B

    公开(公告)日:2023-01-24

    申请号:CN202210136672.X

    申请日:2022-02-15

    Abstract: 本发明公开了一种用于掩膜电解加工的柱塞式冲液加工装置,包括柱塞式阴极和阴极推杆,柱塞式阴极和阴极推杆组成阴极,在夹具体中的柱塞腔中进行直线往复运动。凸轮推动阴极推杆使得柱塞式阴极向靠近掩膜板的方向运动,多数电解液由出液单向阀回流。柱塞式阴极在回复弹簧的作用力下向远离掩膜板的方向运动,电解液由进液单向阀进入反应区。本发明通过柱塞式阴极在柱塞腔内的往复运动和单向阀实现电解液的吸入和电解产物的排出,自主实现了电解液的更新和电解产物的排除。当阴极与掩膜接触时,可以实现连续的零间隙掩膜电解加工,提高加工精度和加工效率。

    一种用于掩膜电解加工的自吸式冲液加工装置

    公开(公告)号:CN114367711B

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202210144848.6

    申请日:2022-02-17

    Abstract: 本发明公开了一种用于掩膜电解加工的自吸式冲液加工装置,包括掩模板、夹具体、旋转轮以及孔板式阴极。夹具体设有进液口和出液口;所述的掩模板与夹具体形成相对密闭的电解液流道腔;所述电解液流道腔被孔板式阴极隔成排液腔和反应腔,所述排液腔包括一个以上的独立封闭的泵室,泵室内设有旋转轮,泵室设有出液口,所述出液口位于旋转轮背离孔板式阴极的一侧;所述进液口连通反应腔且只能够使电解液单向进入,所述旋转轮只能够使电解液单向流出出液口;所述旋转轮转动时,电解液从反应腔透过孔板式阴极吸入泵室。本发明通过在排液腔内通过旋转轮和隔板形成自吸泵抽取电解液,实现自吸式冲液掩膜电解加工,提高电解液传质速率。

    一种用于掩膜电解加工的柱塞式冲液加工装置

    公开(公告)号:CN114453689A

    公开(公告)日:2022-05-10

    申请号:CN202210136672.X

    申请日:2022-02-15

    Abstract: 本发明公开了一种用于掩膜电解加工的柱塞式冲液加工装置,包括柱塞式阴极和阴极推杆,柱塞式阴极和阴极推杆组成阴极,在夹具体中的柱塞腔中进行直线往复运动。凸轮推动阴极推杆使得柱塞式阴极向靠近掩膜板的方向运动,多数电解液由出液单向阀回流。柱塞式阴极在回复弹簧的作用力下向远离掩膜板的方向运动,电解液由进液单向阀进入反应区。本发明通过柱塞式阴极在柱塞腔内的往复运动和单向阀实现电解液的吸入和电解产物的排出,自主实现了电解液的更新和电解产物的排除。当阴极与掩膜接触时,可以实现连续的零间隙掩膜电解加工,提高加工精度和加工效率。

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